[发明专利]一种动态配气仪及其配气方法

说明书

本发明涉及气体检测仪器技术领域，尤其涉及一种动态配气仪及其配气方法。本发明提供的动态配气仪包括标准气体通路、稀释气体通路及混合气体通路，标准气体通路上设有第一阀组及标准气体流量控制器，稀释气体通路上设有第二阀组及稀释气体流量控制器，第一阀组与第二阀组之间设有连通阀，在仅接入稀释气体时，一部分稀释气体通过稀释气体流量控制器进入混合气体通路，剩余部分稀释气体通过标准气体流量控制器进入混合气体通路，定期对气体管路进行清洗；标准气体通路及稀释气体通路分别通过标准气体流量控制器及稀释气体流量控制器与混合气体通路连接，按需控制标准气体与稀释气体的流量，并通入到混合管路中配置目标气体，操作简便，控制性高。

技术领域

本发明涉及气体检测仪器技术领域，尤其涉及一种动态配气仪及其配气方法，具体涉及一种结构简单、提高配气精度且能实现自清洁功能的动态配气仪及其配气方法。

背景技术

目前，气体检测分析领域，随着工业检测领域对气体浓度检测准确度的要求越来越严，对标准气体的浓度要求也随之提高。当前最为常用的方式是对稀释气体通路和原料气体通路分别利用一个稀释气流量控制器和一个原料气流量控制器来对原料气体进行比例稀释，以获得目标气体，采用上述这种方式，存在一些缺点：如，原料气体会有残留，一方面增加了控制器达到平稳测量的时间，另一方面控制器在长期接触较高浓度的酸性气体时会出现一定程度上的腐蚀，影响其使用精确度和使用寿命。

除上述之外，在气体检测分析仪器中，需要用到配气仪通过稀释标准气体来获取不同浓度的气体，而臭氧标准气体需通过臭氧发生装置来产生。从现有仪器来看，如图1所示，包括标准气体流量控制器1、稀释气体流量控制器2、气阻3、臭氧发生器4和气相滴定室5，主流的配气仪中臭氧发生器4的流速控制都是通过在稀释通道三通接头的某一出气通路上加上气阻3来实现分流的。该设计存在如下几点不足：1、气阻3的加工精度要求高，一致性很难保证；2、气阻3的分流大小受分压大小的影响，稳定性和重复性不够好，若添加分压调节装置，又会使得成本增加，结构变得复杂；3、臭氧发生器配套的流速传感器在长期使用的过程中，精度等会出现偏差。

发明内容

(一)要解决的技术问题

本发明的第一目的是：提供一种结构简单、提高配气精度且能实现自清洁功能的动态配气仪，以解决现有的配气仪存在原料气体残留而影响后续配气精度、控制性及使用寿命的问题。

本发明的第二目的是：提供一种结构简单、提高配气精度且能实现自清洁功能的配气方法，以解决现有的配气方式使得原料气体易残留，进而影响后续配气精度、控制性及使用寿命的问题。

(二)技术方案

为了解决上述技术问题，本发明提供了一种动态配气仪，包括标准气体通路、稀释气体通路及混合气体通路，所述标准气体通路上设有第一阀组及标准气体流量控制器，所述稀释气体通路上设有第二阀组及稀释气体流量控制器，所述第一阀组与所述第二阀组之间设有连通阀；所述标准气体通路及稀释气体通路分别通过所述标准气体流量控制器及稀释气体流量控制器与所述混合气体通路连接。

其中，本申请提供的动态配气仪还包括臭氧发生器，所述臭氧发生器的进气口通过第三阀组与所述标准气体流量控制器连接，所述臭氧发生器的出气口与所述混合气体通路连接。

其中，所述臭氧发生器与所述稀释气体流量控制器之间连接有第四阀组。

其中，所述标准气体流量控制器的出气口还连接有第五阀组，所述第五阀组的另一端与所述混合气体通路连接。

其中，所述第一阀组包括至少一个单阀组，每个单阀组均对应连接有一条标准气体接入支路，用于控制相应的标准气通入所述标准气体流量控制器。

本发明还提供了一种利用上述动态配气仪进行的配气方法，包括以下步骤：