[发明专利]真空镀膜设备的检测系统

说明书

本发明提供一种真空镀膜设备的检测系统，所述检测系统包括控制装置和检测装置，所述检测装置包括摄像头和驱动结构，所述摄像头与所述驱动结构连接，所述控制装置包括控制单元，所述摄像头用于对所述真空镀膜设备的内部进行拍摄，所述控制单元用于控制所述驱动结构驱动所述摄像头移动。本发明提供的真空镀膜设备的检测系统，所述控制单元可以控制所述驱动结构驱动所述摄像头移动，所述摄像头移动可以对所述真空镀膜设备的内部的各个细节进行拍摄，从而在真空环境中便可以实现对真空镀膜设备的内部进行检测，避免真空镀膜设备的内部暴露在大气环境中。

技术领域

本发明涉及真空镀膜设备的检测技术领域，尤其涉及一种真空镀膜设备的检测系统。

背景技术

由于现代科技发展的要求，真空镀膜技术得到了飞速的发展。薄膜技术可以改变工件表面性能，提高工件耐磨损、抗氧化和耐腐蚀等性能，从而延长工件的使用寿命。薄膜技术也可以实现光学、电学、半导体薄膜器件的制备，具有很高的经济价值。

现有的真空镀膜设备按照其生产特点可以分为两大类，分别是流水线式真空镀膜设备和单体式真空镀膜设备。其中，流水线式设备因为其可以连续化生产，效率高，被广泛的使用。在不断地生产过程中，流水线式真空镀膜设备不可避免的会出现很多问题，有些问题在设备内部，无法被观测，通常需要将真空设备暴露在大气环境中，逐点检查，对于过大的设备，检测消耗的时间会更长，而对于真空设备来说，应尽量避免其内部在大气中所处的时间。

发明内容

为了解决上述问题，本发明提出一种真空镀膜设备的检测系统，不需要将真空镀膜设备暴露在大气环境中，在真空环境中便可以对所述真空镀膜设备进行检测。

本发明提出的具体技术方案为：提供一种真空镀膜设备的检测系统，所述检测系统包括控制装置和检测装置，所述检测装置包括摄像头和驱动结构，所述摄像头与所述驱动结构连接，所述控制装置包括控制单元，所述摄像头用于对所述真空镀膜设备的内部进行拍摄，所述控制单元用于控制所述驱动结构驱动所述摄像头移动。

进一步地，所述检测装置还包括底座，所述驱动结构包括推进杆和推进电机，所述推进电机固定于所述底座上，所述推进杆一端与所述推进电机连接、一端与所述摄像头连接。

进一步地，所述驱动结构还包括设置于所述底座内的第一齿轮、第二齿轮和旋转电机，所述第一齿轮与所述推进电机连接，所述第二齿轮与所述旋转电机连接，所述第一齿轮与所述第二齿轮相互齿合。

进一步地，所述检测装置还包括设置于所述底座内的电池和电路板，所述电池与所述电路板连接，所述电路板分别与所述摄像头、所述推进电机、所述旋转电机连接。

进一步地，所述检测装置还包括分别与所述摄像头、所述驱动结构连接的第一收发器，所述检测装置通过所述第一收发器与所述控制装置进行通信。

进一步地，所述检测系统还包括设置于所述检测装置表面的保护膜，所述保护膜由绝热材料制成。

进一步地，所述检测装置还包括温度传感器，所述温度传感器与所述驱动结构连接。

进一步地，所述检测装置还包括设置于所述摄像头的镜头上的隔热结构。

进一步地，所述控制装置还包括显示屏，所述显示屏用于对所述摄像头拍摄的图像进行显示。

进一步地，所述控制装置还包括第二收发器，所述第二收发器分别与所述显示屏、所述控制单元连接，所述控制装置通过所述第二收发器与所述检测装置进行通信。

本发明提供的真空镀膜设备的检测系统，其包括控制装置和检测装置，所述检测装置包括摄像头和驱动结构，所述控制装置包括控制单元，所述控制单元可以控制所述驱动结构驱动所述摄像头移动，所述摄像头移动可以对所述真空镀膜设备的内部的各个细节进行拍摄，从而在真空环境中便可以实现对真空镀膜设备的内部进行检测，避免真空镀膜设备的内部暴露在大气环境中。