[发明专利]真空镀膜设备的检测系统

权利要求书

1.一种真空镀膜设备的检测系统，其特征在于，包括控制装置和检测装置，所述检测装置包括摄像头和驱动结构，所述摄像头与所述驱动结构连接，所述控制装置包括控制单元，所述摄像头用于对所述真空镀膜设备的内部进行拍摄，所述控制单元用于控制所述驱动结构驱动所述摄像头移动，所述检测装置还包括底座，所述驱动结构包括推进杆和推进电机，所述推进电机固定于所述底座上，所述推进杆一端与所述推进电机连接、一端与所述摄像头连接，所述驱动结构还包括设置于所述底座内的第一齿轮、第二齿轮和旋转电机，所述第一齿轮与所述推进电机连接，所述第二齿轮与所述旋转电机连接，所述第一齿轮与所述第二齿轮相互齿合。

2.根据权利要求1所述的检测系统，其特征在于，所述检测装置还包括设置于所述底座内的电池和电路板，所述电池与所述电路板连接，所述电路板分别与所述摄像头、所述推进电机、所述旋转电机连接。

3.根据权利要求1所述的检测系统，其特征在于，所述检测装置还包括分别与所述摄像头、所述驱动结构连接的第一收发器，所述检测装置通过所述第一收发器与所述控制装置进行通信。

4.根据权利要求1所述的检测系统，其特征在于，所述检测系统还包括设置于所述检测装置表面的保护膜，所述保护膜由绝热材料制成。

5.根据权利要求4所述的检测系统，其特征在于，所述检测装置还包括温度传感器，所述温度传感器与所述驱动结构连接。

6.根据权利要求5所述的检测系统，其特征在于，所述检测装置还包括设置于所述摄像头的镜头上的隔热结构。

7.根据权利要求1-6任一项所述的检测系统，其特征在于，所述控制装置还包括显示屏，所述显示屏用于对所述摄像头拍摄的图像进行显示。

8.根据权利要求7所述的检测系统，其特征在于，所述控制装置还包括第二收发器，所述第二收发器分别与所述显示屏、所述控制单元连接，所述控制装置通过所述第二收发器与所述检测装置进行通信。