[发明专利]部件安装装置以及部件安装方法

说明书

本发明的目的在于提供能够缩短测量基板的高度所需要的时间而实现效率的提高的部件安装装置以及部件安装方法。利用基板支承部(22)来支承配置于作业位置的基板(2)的下表面，利用安装于基板支承部(22)的多个高度测量器(44)来测量基板(2)的下表面的多处位置的高度。基于由多个高度测量器(44)测量出的基板(2)的下表面的多处位置的高度，进行由装配头(52)装配的部件(3)相对于由基板支承部(22)支承下表面的基板(2)的装配高度的控制，从而向基板(2)装配部件(3)。

技术领域

本发明涉及向基板装配部件的部件安装装置以及部件安装方法。

背景技术

部件安装装置通过装配头向配置于作业位置的基板装配部件。配置于作业位置的基板的下表面被基板支承部支承而以呈稳定姿态的状态装配部件。在上述那样的部件安装装置中，将部件装配于基板时的高度(装配高度)因部件的高度而不同，在基板存在翘曲的情况下，也取决于该翘曲的形状(基板上的各位置的高度)。因此，以往使用设置于基板的上方的激光位移计来测量由基板支承部支承下表面的基板的上表面的各位置的高度，基于由此求出的基板的翘曲来修正装配高度(例如，下述的专利文献1)。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2000-299597号公报

然而，在由基板支承部支承基板的下表面之后，使激光位移计扫描恒定的时间来进行上述现有的部件安装装置中的基板的高度的测量，因此存在有可能到基板的装配开始为止的时间变长而导致效率降低这样的问题点。

发明内容

发明要解决的问题

对此，本发明的目的在于，提供能够缩短测量基板的高度所需要的时间而实现效率的提高的部件安装装置以及部件安装方法。

本发明的部件安装装置通过装配头向配置于作业位置的基板装配部件，其中，所述部件安装装置具备：基板支承部，其对配置于所述作业位置的所述基板的下表面进行支承；多个高度测量器，其安装于所述基板支承部且对所述基板的下表面的多处位置的高度进行测量；以及控制部，其基于所述多处位置的高度而进行由所述装配头装配的所述部件相对于所述基板的装配高度的控制，从而向所述基板装配部件。

本发明的部件安装方法是通过装配头向配置于作业位置的基板装配部件的部件安装方法，其中，所述部件安装方法包括：利用基板支承部来支承配置于所述作业位置的所述基板的下表面的基板支承工序；利用安装于所述基板支承部的多个高度测量器来测量所述基板的下表面的多处位置的高度的高度测量工序；以及基于所述多处位置的高度而进行由装配头装配的部件相对于所述基板的装配高度的控制，从而向所述基板装配部件的部件装配工序。

发明效果

根据本发明，能够缩短测量基板的高度所需要的时间并实现效率的提高。

附图说明

图1是本发明的一实施方式中的部件安装装置的立体图。

图2是本发明的一实施方式中的部件安装装置具备的基板搬运机构以及基板支承部的立体图。

图3是本发明的一实施方式中的部件安装装置具备的基板搬运机构的一部分的分解立体图。

图4A是本发明的一实施方式中的部件安装装置具备的基板搬运机构的一部分的侧视图。

图4B是本发明的一实施方式中的部件安装装置具备的基板搬运机构的一部分的侧视图。

图5是本发明的一实施方式中的部件安装装置具备的基板支承部的一部分的分解立体图。

图6A是本发明的一实施方式中的部件安装装置具备的基板支承部的高度测量器的剖视图。