[发明专利]支撑组件、用于处理基底的装置和方法

权利要求书

1.一种基底处理装置，包括：

内部具有处理空间的加工室；

用于支撑在所述加工室内的基底的支撑组件；以及

用于将处理气体供应到所述处理空间中的气体供应组件，

其中，所述支撑组件包括：

金属材料的电极层，能够向该金属材料的电极层施加高频电力；

冷却路径；

接地线路，包括连接到所述电极层的第一线路和接地的第二线路，其中所述第二线路被设置为多个，并且每个第二线路被设置成相互平行，其中在每个所述第二线路中，设置有具有预定电阻值的电阻元件，并且所述电阻元件的电阻值互不相同；以及

设置在所述接地线路上的开关，其中所述开关被设置为将所述第二线路中的任何一个与所述第一线路电连接。

2.根据权利要求1所述的装置，其中，所述接地线路包括：

连接到所述电极层的第一线路；以及

接地的第二线路，

其中，所述开关被设置为将所述第二线路和所述第一线路电连接。

3.根据权利要求2所述的装置，还包括用于控制所述开关的控制器，其中，当向所述电极层施加高频电力时所述控制器使所述开关保持关断，并且当不向所述电极层施加高频电力时所述控制器使所述开关保持闭合使得所述第二线路和所述第一线路电连接。

4.根据权利要求3所述的装置，其中，当向所述电极层施加高频电力时所述控制器使所述开关保持关断，并且当不向所述电极层施加高频电力时所述控制器使所述开关保持闭合使得所述第二线路中的任何一个电连接到所述第一线路。

5.一种支撑组件，包括：

金属材料的电极层，能够向该金属材料的电极层施加高频电力；

冷却路径；

接地线路，包括连接到所述电极层的第一线路和接地的第二线路，其中所述第二线路被设置为多个，并且每个第二线路被设置成相互平行，其中在每个所述第二线路中，设置有具有预定电阻值的电阻元件，并且所述电阻元件的电阻值互不相同；以及

设置在所述接地线路上的开关，其中所述开关被设置为将所述第二线路中的任何一个与所述第一线路电连接。

6.根据权利要求5所述的支撑组件，还包括用于控制所述开关的控制器，其中，当向所述电极层施加高频电力时所述控制器使所述开关保持关断，并且当不向所述电极层施加高频电力时所述控制器使所述开关保持闭合使得所述第二线路和所述第一线路电连接。

7.根据权利要求6所述的支撑组件，其中，当向所述电极层施加高频电力时所述控制器使所述开关保持关断，并且当不向所述电极层施加高频电力时所述控制器使所述开关保持闭合使得所述第二线路中的任何一个电连接到所述第一线路。

8.一种使用权利要求1的装置的基底处理方法，包括在向所述电极层施加高频电力时断开所述电极层与所述接地线路中的地之间的连接，并且在不向所述电极层施加高频电力时保持所述电极层与所述接地线路中的地之间的连接。

9.根据权利要求8所述的方法，其中，在所述接地线路上设置有具有预定电阻值的电阻元件，其中，所述电阻元件位于用于断开或保持所述电极层与所述地之间的连接的连接点的下方位置。