[发明专利]双氧水体系抛光液以及在该双氧水体系抛光液中抛光THGEM膜的方法

权利要求书

1.在双氧水体系抛光液中抛光THGEM膜的方法，其特征在于，包括以下步骤：

Step1：配制抛光液

抛光液的配方如下：

硫酸 40-55g、

双氧水 350-400g、

硝酸 10-15g、

尿素 2-3g、

柠檬酸 1-2g、

聚乙二醇 0.05-0.2g、

水 补足1L；

Step2：抛光去毛刺

将装挂好的THGEM膜进行除锈和水洗，除锈过程使用的除锈液是由31mL盐酸、22mL酒石酸、1.0gHS-99、1.0g十二烷基磺酸和2.0g EDTA配比而成，使用时用水稀释成10wt%，之后将THGEM膜放入45℃的恒温抛光液中进行抛光，至咖啡色，紧接着，依次进行脱膜处理50s、钝化处理90s，脱膜过程使用的脱膜液是由31mL盐酸、22mL酒石酸、1.0gHS-99、1.0g十二烷基磺酸和2.0g EDTA配比而成，使用时用水稀释成5wt%，钝化过程使用的钝化液是由160mL硫酸、70mL乙醇、150mL过氧化氢、40mL乙酸和580mL水配比而成，使用时用水稀释成10wt%，再放入超声机分别用清水和无水乙醇超声5min，最后用气枪吹干THGEM膜。

2.根据权利要求1所述的在双氧水体系抛光液中抛光THGEM膜的方法，其特征在于，在Step1中，抛光液的配方如下：

硫酸 40g、

双氧水 350g、

硝酸 10g、

尿素 2g、

柠檬酸 1g、

聚乙二醇 0.05g、

水 补足1L。