[发明专利]砂浆供应装置

权利要求书

1.一种砂浆供应装置，所述砂浆供应装置用于晶圆切割系统，其特征在于，所述砂浆供应装置包括第一承载装置、第一管道、第一过滤网和第一搅拌装置，其中：

所述第一承载装置向所述第一管道提供砂浆，所述第一管道向所述晶圆切割系统中的钢线提供砂浆；

位于所述第一管道中的所述第一过滤网对通过所述第一管道的砂浆进行过滤；

位于所述第一管道中的所述第一搅拌装置接触所述第一过滤网，所述第一搅拌装置以第一管道中心线为轴转动，以刮除或打碎未通过所述第一过滤网的碳化硅颗粒。

2.如权利要求1所述的砂浆供应装置，其特征在于，所述砂浆供应装置还包括第二过滤网和第二搅拌装置，其中：

位于所述第一管道中的所述砂浆通过所述第一过滤网后，被提供至所述第二过滤网，所述第二过滤网对通过所述第一过滤网的砂浆进行再次过滤，以使砂浆中的碳化硅颗粒粒径不超过标准值；

所述第二搅拌装置位于所述第一过滤网和所述第二过滤网之间，并接触所述第二过滤网，所述第二搅拌装置以第一管道中心线为轴转动，以刮除或打碎未通过所述第二过滤网的碳化硅颗粒。

3.如权利要求2所述的砂浆供应装置，其特征在于，所述第二搅拌装置还接触所述第一过滤网，以刮除附着在所述第一过滤网上的碳化硅颗粒。

4.如权利要求2所述的砂浆供应装置，其特征在于，所述第二过滤网的孔径小于所述第一过滤网的孔径。

5.如权利要求2所述的砂浆供应装置，其特征在于，所述第一搅拌装置具有2～6个叶片，所述第二搅拌装置具有6～10个叶片。

6.如权利要求2所述的砂浆供应装置，其特征在于，所述第一搅拌装置和所述第二搅拌装置的转动速度为20～100转/分钟。

7.如权利要求2所述的砂浆供应装置，其特征在于，所述第一过滤网的目数为500目～1000目，所述第二过滤网的目数为1200目～1500目。

8.如权利要求1所述的砂浆供应装置，其特征在于，所述砂浆供应装置还包括控温器，所述控温器位于所述第一管道靠近所述钢线的第一管道出口处，所述控温器使所述砂浆的温度保持在20℃～40℃之间。

9.如权利要求2所述的砂浆供应装置，其特征在于，所述砂浆供应装置还包括第二承载装置和第二管道，其中：

所述第二承载装置向所述第二管道提供清洗液体，所述第二管道与第一管道连接，所述第二管道向所述第一管道提供清洗液体；

所述清洗液体经过所述第一搅拌装置、第一过滤网、第二搅拌装置和第二过滤网，并由所述第一管道靠近所述钢线的第一管道出口处排出。

10.如权利要求9所述的砂浆供应装置，其特征在于，所述砂浆供应装置还包括第一阀门和第二阀门，其中：

所述第一阀门控制所述第一承载装置向所述第一管道的通道；

所述第二阀门控制所述第二承载装置向所述第二管道的通道。

11.如权利要求9所述的砂浆供应装置，其特征在于，所述砂浆供应装置还包括第三管道、第四管道和第三承载装置，其中：

所述第三管道和第四管道连接所述第一管道侧壁上，所述第三管道位于第一搅拌装置处，所述第四管道位于所述第二搅拌装置处；

所述清洗液体经过第一搅拌装置，由第三管道排到所述第三承载装置；

所述清洗液体经过第二搅拌装置，由第四管道排到所述第三承载装置。

12.如权利要求11所述的砂浆供应装置，其特征在于，所述砂浆供应装置还包括第三阀门和第四阀门，其中：

所述第三阀门控制所述第三管道向所述第三承载装置的通道；

所述第四阀门控制所述第四管道向所述第三承载装置的通道。