[发明专利]一种镀膜玻璃及其制备方法

权利要求书

1.一种镀膜玻璃，包括玻璃基板和设于玻璃基板一面的膜层，其特征在于：所述膜层自玻璃基板向外依次分布为：第一复合层、第一功能层、第二复合层、第二功能层、保护层、变色层、抗污层。

2.根据权利要求1所述的镀膜玻璃，其特征在于：所述第一复合层与第二复合层由ZnO和TiO₂混合组成，所述第一复合层与第二复合层的厚度为50~150nm。

3.根据权利要求2所述的镀膜玻璃，其特征在于：所述ZnO的重量百分比为20%-80%，所述TiO₂的重量百分比为80%-20%。

4.根据权利要求1所述的镀膜玻璃，其特征在于：所述第一功能层和第二功能层为Ag层，第一功能层和第二功能层的厚度为20~30nm。

5.根据权利要求1所述的镀膜玻璃，其特征在于：所述保护层为铑层，该铑层的厚度为15~25nm。

6.根据权利要求1所述的镀膜玻璃，其特征在于：所述变色层为卤化银，该变色层的厚度为0.01-0.1nm。

7.根据权利要求1所述的镀膜玻璃，其特征在于：所述抗污层为氟化有机硅烷聚合物，该抗污层的厚度为0.005~0.01nm。

8.根据权利要求1所述的镀膜玻璃，其特征在于：所述玻璃基板包含第一玻璃基板与第二玻璃基板，第一玻璃基板与第二玻璃基板之间设有贴合层，该贴合层的厚度为5~15nm。

9.根据权利要求8所述的镀膜玻璃，其特征在于：所述贴合层为氟化铒。

10.一种制造镀膜玻璃的方法，采用真空磁控溅射，包括以下步骤：

（1）提供玻璃原片，在清洗机作用下清洗干净；

（2）玻璃原片在传送带作用下依次进入进口锁室，进口保持室，进口缓冲室和镀膜腔室；

（3）在镀膜腔室内，采用真空磁控溅射依次溅射第一复合层、第一功能层、第二复合层、第二功能层、保护层、变色层、抗污层；

（4）在玻璃基板未镀膜一侧溅射贴合层，将如权利要求9所述的镀膜玻璃中的第一玻璃基板与第二玻璃基板紧密贴合在一起，形成夹层玻璃；

（5）将步骤（4）中的夹层玻璃依次经过出口缓冲室、出口保持室、出口锁室，待喷粉备用；

所述进口锁室大气压强与外界压强平衡，进口保持室压强为10^-2mbar，进口缓冲室压强为10^-4mbar，镀膜腔室与进口缓冲室压强相等。