[发明专利]一种发光二极管的外延片及制备方法有效

专利信息
申请号: 201710369401.8 申请日: 2017-05-23
公开(公告)号: CN107170908B 公开(公告)日: 2019-09-10
发明(设计)人: 丁涛;周飚;胡加辉;李鹏 申请(专利权)人: 华灿光电(浙江)有限公司
主分类号: H01L51/54 分类号: H01L51/54;H01L51/50;H01L51/56
代理公司: 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 代理人: 徐立
地址: 322000 浙江省金华市义*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 发光二极管 外延 制备 方法
【说明书】:

技术领域

发明涉及光电子制造技术领域,特别涉及一种发光二极管的外延片及制备方法。

背景技术

LED(Light Emitting Diode,发光二极管)具有体积小、寿命长、功耗低等优点,目前被广泛应用于汽车信号灯、交通信号灯、显示屏以及照明设备。

现有的LED主要包括衬底和依次层叠在衬底上的n型层、发光层和p型层。

现有的LED的发光层通常是多量子阱结构,例如InGaN基LED的发光层是InGaN/GaN多量子阱。多量子阱结构的LED,随着电流的增大,发光效率会逐渐降低,这种现象被称为Efficiency droop(效率衰退)。目前对这种现象产生的原因的解释是,量子阱层和量子垒层界面间存在的晶格不匹配会产生极化电场,极化电场导致能带发生弯曲,使电子容易从发光层泄漏到p型层,泄漏到p型层的电子与空穴复合时不会发光,电流增大会加剧电子的泄漏,使得发光效率进一步降低。

发明内容

为了解决现有LED在电流增大时发光效率降低的问题,本发明实施例提供了一种发光二极管的外延片及制备方法。所述技术方案如下:

一方面,本发明实施例提供了一种发光二极管的外延片,所述外延片包括衬底以及依次层叠在所述衬底上的u-GaN层、n型层、发光层和NiO空穴传输层,所述发光层包括HC(NH2)2PbBr3层。

优选地,所述HC(NH2)2PbBr3层的厚度为10nm~300nm。

优选地,所述NiO空穴传输层的厚度为10nm~100nm。

可选地,所述外延片还包括GaN缓冲层,所述GaN缓冲层设置在所述衬底和所述u-GaN层之间。

另一方面,本发明实施例还提供了一种外延片的制备方法,所述制备方法包括:

提供一衬底;

在所述衬底上依次外延生长u-GaN层和n型层;

在所述n型层上形成发光层,所述发光层包括HC(NH2)2PbBr3层;

在所述发光层上形成NiO空穴传输层。

可选地,所述在所述n型层上形成发光层包括:

在所述n型层上形成PbBr2薄膜;

将形成有PbBr2薄膜的衬底浸于HC(NH2)2I的异丙醇溶液中,取出所述形成有PbBr2薄膜的衬底,对所述形成有PbBr2薄膜的衬底加热以形成所述HC(NH2)2PbBr3层。

可选地,所述HC(NH2)2I的异丙醇溶液的浓度为8~12mg/ml。

可选地,所述在所述n型层上形成PbBr2薄膜包括:

在所述n型层上旋涂PbBr2溶液;

加热旋涂有PbBr2溶液的衬底以在所述n型层上形成所述PbBr2薄膜。

可选地,所述PbBr2溶液的浓度为0.7~1.2mol/L。

实现时,所述在所述发光层上形成NiO空穴传输层包括:

采用磁控溅射法在所述发光层上形成所述NiO空穴传输层。

本发明实施例提供的技术方案带来的有益效果是:通过在外延片的n型层上依次层叠设置发光层和NiO空穴传输层,电子和空穴在发光层中复合发光,由于发光层包括HC(NH2)2PbBr3层,HC(NH2)2PbBr3层替代多量子阱结构作为发光层应用于GaN基LED中,可避免Efficiency droop效应,提高LED器件的发光效率,此外,采用HC(NH2)2PbBr3层发光,相比现有的发光层还具有色域广、色纯度高、功耗低、成本低和易于加工等特点。

附图说明

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