[发明专利]一种发光二极管的外延片及制备方法有效
申请号: | 201710369401.8 | 申请日: | 2017-05-23 |
公开(公告)号: | CN107170908B | 公开(公告)日: | 2019-09-10 |
发明(设计)人: | 丁涛;周飚;胡加辉;李鹏 | 申请(专利权)人: | 华灿光电(浙江)有限公司 |
主分类号: | H01L51/54 | 分类号: | H01L51/54;H01L51/50;H01L51/56 |
代理公司: | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人: | 徐立 |
地址: | 322000 浙江省金华市义*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 发光二极管 外延 制备 方法 | ||
技术领域
本发明涉及光电子制造技术领域,特别涉及一种发光二极管的外延片及制备方法。
背景技术
LED(Light Emitting Diode,发光二极管)具有体积小、寿命长、功耗低等优点,目前被广泛应用于汽车信号灯、交通信号灯、显示屏以及照明设备。
现有的LED主要包括衬底和依次层叠在衬底上的n型层、发光层和p型层。
现有的LED的发光层通常是多量子阱结构,例如InGaN基LED的发光层是InGaN/GaN多量子阱。多量子阱结构的LED,随着电流的增大,发光效率会逐渐降低,这种现象被称为Efficiency droop(效率衰退)。目前对这种现象产生的原因的解释是,量子阱层和量子垒层界面间存在的晶格不匹配会产生极化电场,极化电场导致能带发生弯曲,使电子容易从发光层泄漏到p型层,泄漏到p型层的电子与空穴复合时不会发光,电流增大会加剧电子的泄漏,使得发光效率进一步降低。
发明内容
为了解决现有LED在电流增大时发光效率降低的问题,本发明实施例提供了一种发光二极管的外延片及制备方法。所述技术方案如下:
一方面,本发明实施例提供了一种发光二极管的外延片,所述外延片包括衬底以及依次层叠在所述衬底上的u-GaN层、n型层、发光层和NiO空穴传输层,所述发光层包括HC(NH2)2PbBr3层。
优选地,所述HC(NH2)2PbBr3层的厚度为10nm~300nm。
优选地,所述NiO空穴传输层的厚度为10nm~100nm。
可选地,所述外延片还包括GaN缓冲层,所述GaN缓冲层设置在所述衬底和所述u-GaN层之间。
另一方面,本发明实施例还提供了一种外延片的制备方法,所述制备方法包括:
提供一衬底;
在所述衬底上依次外延生长u-GaN层和n型层;
在所述n型层上形成发光层,所述发光层包括HC(NH2)2PbBr3层;
在所述发光层上形成NiO空穴传输层。
可选地,所述在所述n型层上形成发光层包括:
在所述n型层上形成PbBr2薄膜;
将形成有PbBr2薄膜的衬底浸于HC(NH2)2I的异丙醇溶液中,取出所述形成有PbBr2薄膜的衬底,对所述形成有PbBr2薄膜的衬底加热以形成所述HC(NH2)2PbBr3层。
可选地,所述HC(NH2)2I的异丙醇溶液的浓度为8~12mg/ml。
可选地,所述在所述n型层上形成PbBr2薄膜包括:
在所述n型层上旋涂PbBr2溶液;
加热旋涂有PbBr2溶液的衬底以在所述n型层上形成所述PbBr2薄膜。
可选地,所述PbBr2溶液的浓度为0.7~1.2mol/L。
实现时,所述在所述发光层上形成NiO空穴传输层包括:
采用磁控溅射法在所述发光层上形成所述NiO空穴传输层。
本发明实施例提供的技术方案带来的有益效果是:通过在外延片的n型层上依次层叠设置发光层和NiO空穴传输层,电子和空穴在发光层中复合发光,由于发光层包括HC(NH2)2PbBr3层,HC(NH2)2PbBr3层替代多量子阱结构作为发光层应用于GaN基LED中,可避免Efficiency droop效应,提高LED器件的发光效率,此外,采用HC(NH2)2PbBr3层发光,相比现有的发光层还具有色域广、色纯度高、功耗低、成本低和易于加工等特点。
附图说明
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择