[发明专利]一种软模板脱模机构有效
申请号: | 201710354496.6 | 申请日: | 2017-05-18 |
公开(公告)号: | CN108957946B | 公开(公告)日: | 2021-07-20 |
发明(设计)人: | 刘晓成;史晓华 | 申请(专利权)人: | 苏州光舵微纳科技股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/00 | 分类号: | G03F7/00 |
代理公司: | 苏州华博知识产权代理有限公司 32232 | 代理人: | 黄丽莉 |
地址: | 215500 江苏省苏州市常熟经*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 模板 脱模 机构 | ||
1.一种软模板脱模机构,用于将软模板从母模板上脱离,其特征在于,包括:
机架;
吸附盘,设置于机架上,在所述吸附盘的吸附面设有多个吸附嘴,多个所述吸附嘴与抽真空装置连接,所述吸附盘的吸附面为斜面;
从所述吸附面到达软模板最近距离的一端为吸附盘的揭取端,从所述吸附面到达软模板最远距离的一端为吸附盘的定位端;所述吸附嘴的吸附口径从所述吸附盘的揭取端向所述吸附盘的定位端逐渐减小,或,所述吸附嘴的分布密度从所述吸附盘的揭取端向所述吸附盘的定位端逐渐减小。
2.根据权利要求1所述的软模板脱模机构,其特征在于,在所述机架上设有揭取驱动装置,所述揭取驱动装置的固定端与所述机架铰接,所述揭取驱动装置的传动端与所述吸附盘的揭取端铰接。
3.根据权利要求2所述的软模板脱模机构,其特征在于,所述吸附盘的定位端与所述机架铰接。
4.根据权利要求3所述的软模板脱模机构,其特征在于,在机架上设有向外延伸的第一铰接部,在所述吸附盘的定位端设有与所述第一铰接部位置相对应的第二铰接部,所述第一铰接部与所述第二铰接部铰接。
5.根据权利要求4所述的软模板脱模机构,其特征在于,所述吸附盘可在所述机架上升降。
6.根据权利要求5所述的软模板脱模机构,其特征在于,所述机架包括:升降板、固定板以及设置于所述升降板和所述固定板上的滑动组件,所述吸附盘设置于所述升降板上。
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