[发明专利]探针卡自动检测与校正方法及装置

说明书

一种探针卡自动检测与校正方法，其包括有：以一量测部辨识探针卡的各脚位的位置；比对上述各脚位的位置与一标准位置，判断二者的偏差情形；将出现偏差的脚位标记为一错误脚位；计算错误脚位的位置与标准位置的位移向量；将探针卡输送至一校正部，其中校正部具有一工作位置，而探针卡的错误脚位被直接输送至校正部的工作位置；以校正部控制错误脚位，并通过输送部与校正部之间依上述位移向量的相对移动进行错误脚位的校正；校正完成一个错误脚位后，下一个错误脚位被直接输送至工作位置。此外，本发明还提供一种探针卡自动检测与校正装置。

技术领域

本发明与探针卡的检测有关，特别指一种自动检测及校正探针卡的装置及方法。

背景技术

本案申请人先前曾就探针卡的检测方法及应用该方法的装置申请为中国台湾发明专利I525327号。该专利的技术内容揭露有一检测装置，其包括有一工作平台，该工作平台上设有一量测部、一校正部及一输送部，而待测的探针卡先经由该量测部辨识并标示出错误脚位，再通过该输送部将探针卡移动至该校正部处，接着利用该校正部校正该错误脚位，过程中无须拆装探针卡，而具有节省时间且提升检测准确行的优点。

然而上述现有装置中，该校正部仍须以人工操作，因而除了机器的维护成本以外，尚须支出人力成本，相对地压缩商业上的利润空间。有鉴于此，开发一种可兼顾自动化检测及校正的探针卡检测装置及方法即为本发明所欲解决的首要课题。

发明内容

本发明目的之一在于提供一种探针卡检测方法及装置，其利用量测部对探针卡进行检测，进而标记出位置偏离的脚位，再将所标记的脚位直接输送至校正部进行校正，藉以缩短检测及校正的时间，提升工作效率。

本发明目的之二在于提供一种探针卡检测方法及装置，使探针卡的检测及校正工作形成自动化作业，藉以降低成本进而提高获利。

为实现上述目的，本发明采取以下技术方案：

一种探针卡自动检测与校正方法，它包括:

以一量测部辨识一探针卡的各脚位的位置；

比对上述各脚位的位置与一标准位置，判断二者的偏差情形；

若前述二者具有偏差，则将出现偏差的脚位标记为一错误脚位；

以一计算单元计算该错误脚位的位置与该标准位置的差距的一位移向量；

以一输送部将该探针卡输送至一校正部；其中该校正部具有一工作位置，而该探针卡的错误脚位被该输送部直接输送至该工作位置；

以该校正部控制该错误脚位，并通过该输送部与该校正部之间依该位移向量的相对移动进行该错误脚位的校正；

该探针卡的一个错误脚位校正完成后，下一个错误脚位被该输送部直接输送至该校正部的工作位置。

在一个实施例中，所述错误脚位的校正是由所述输送部依所述位移向量带动所述探针卡移动而达成。

在一个实施例中，若所述探针卡的脚位的位置与所述标准位置出现偏差，且偏差超出公差值，则将此脚位标记为一错误脚位。

在一个实施例中，所述标准位置由一于所述量测部中预先建置的教导档提供，包括有各脚位的位置及高度资讯。

在一个实施例中，更包括：所述探针卡的错误脚位校正完成后，将该探针卡送回所述量测部重行检测，且仅对先前被标记的错误脚位进行检测。

一种应用上述的探针卡自动检测与校正方法的探针卡自动检测与校正装置，它包括：

一工作平台，其设有一立柱，该立柱设有一可沿高度方向移动的滑块；