[发明专利]探针卡自动检测与校正方法及装置

权利要求书

1.一种探针卡自动检测与校正方法，其特征在于，它包括：

以一量测部辨识一探针卡的各脚位的位置；

比对上述各脚位的位置与一标准位置，判断二者的偏差情形；

若前述二者具有偏差，则将出现偏差的脚位标记为一错误脚位；

以一计算单元计算该错误脚位的位置与该标准位置的差距的一位移向量；

以一输送部将该探针卡输送至一校正部；其中该校正部具有一工作位置，而该探针卡的错误脚位被该输送部直接输送至该工作位置；

以该校正部控制该错误脚位，并通过该输送部与该校正部之间依该位移向量的相对移动进行该错误脚位的校正；

该探针卡的一个错误脚位校正完成后，下一个错误脚位被该输送部直接输送至该校正部的工作位置。

2.依权利要求1所述的探针卡自动检测与校正方法，其特征在于，所述错误脚位的校正是由所述输送部依所述位移向量带动所述探针卡移动而达成。

3.依权利要求1所述的探针卡自动检测与校正方法，其特征在于，若所述探针卡的脚位的位置与所述标准位置出现偏差，且偏差超出公差值，则将此脚位标记为一错误脚位。

4.依权利要求1所述的探针卡自动检测与校正方法，其特征在于，所述标准位置由一于所述量测部中预先建置的教导档提供，包括有各脚位的位置及高度资讯。

5.依权利要求1所述的探针卡自动检测与校正方法，其特征在于，更包括：所述探针卡的错误脚位校正完成后，将该探针卡送回所述量测部重行检测，且仅对先前被标记的错误脚位进行检测。

6.一种应用如权利要求1所述的探针卡自动检测与校正方法的探针卡自动检测与校正装置，其特征在于，它包括：

一工作平台，其设有一立柱，该立柱设有一可沿高度方向移动的滑块；

一量测部，其设于该滑块上；该量测部包括有一影像撷取单元及一影像比对单元，其中该影像撷取单元用以撷取一探针卡的影像，而该影像比对单元内建一包含该探针卡各脚位的标准位置的教导档，该影像比对单元依该影像辨识该探针卡的各脚位；该量测部更包括有一标示单元及一计算单元，其中该标示单元用以标记该探针卡的脚位的位置，该计算单元用以将各脚位的位置与该标准位置比较，并计算二者投影于该工作平台上的差距的一位移向量；

一校正部，其设于该滑块上；该校正部设有一控制件，其可随该滑块产生沿高度方向的位移，用以控制该探针卡的脚位；该控制件于该工作平台上对应有一工作位置；

一输送部，其设于该工作平台上；该输送部设有一载台，用以承载该探针卡；该输送部可带动该载台沿该工作平台进行二维方向的位移，以将该探针卡被该标示单元标记的位置直接输送至该工作位置，且该输送部与该校正部之间可依该位移向量产生相对移动，以校正该探针卡的脚位。

7.依权利要求6所述的探针卡自动检测与校正装置，其特征在于，所述工作平台设有光学尺，以产生所述标示单元所标记的位置的坐标，并利用此坐标令所述输送部将所述探针卡被该标示单元标记的位置直接输送至所述校正部的工作位置。