[发明专利]芯片切割系统及其控制电路

说明书

本申请提供一种芯片切割系统及其控制电路。本申请中，所述芯片切割系统的控制电路，包括依次串联形成控制回路的第一继电器、第二继电器、监测装置以及控制主板，还包括与第二继电器电连接的第三继电器；第一继电器闭合时发泡机通电，在发泡机输出的水的电阻率处于预设范围内时，第三继电器断开，第二继电器闭合，控制回路闭合，监测装置将监测的划片机工作所需参数输出至控制主板，控制主板控制划片机进行切割工作；在电阻率超出预设范围时，第三继电器闭合，第二继电器断开，控制回路断开，控制主板控制划片机停止切割工作。本申请可以及时有效地预防在芯片切割过程中对芯片造成的静电污染，降低芯片失效的风险并极大的提高产品良率和生产效率。

技术领域

本申请涉及芯片制造加工技术领域，特别涉及一种芯片切割系统及其控制电路。

背景技术

在芯片的划片过程中，使用高品质的超纯水有助于产品良率的提高。然而超纯水具有很高的电阻率，几乎没有导电性，因此很容易在产品表面产生静电，对产品造成静电污染。

相关技术中，可以利用CO₂(二氧化碳)发泡机向超纯水里注入CO2来调节纯水电阻值，以避免在划片过程中产品表面产生静电，对产品造成静电污染。目前，在芯片的划片过程中，是将CO₂发泡机的出水口连接至划片机切割水的进水口来实现互联，CO₂发泡机可以时时监测电阻率，并在电阻率超出预设范围时进行报警。

然而，这种方案只能起到监测功能，即使在电阻率超出预设范围时进行报警，员工也无法及时的发现并处理，也就是说当检测到电阻率超标时发泡机报警，可是划片机不会自动停止切割，此时极有可能造成产品的静电污染或电性能失效。

发明内容

本申请实施例提供一种芯片切割系统及其控制电路，可以及时有效地预防在芯片切割过程中对芯片造成的静电污染，降低芯片失效的风险并极大的提高产品良率和生产效率。

本申请部分实施例提供了一种芯片切割系统的控制电路，所述芯片切割系统包括发泡机以及与所述发泡机连接的划片机，所述控制电路与所述芯片切割系统连接；其中，所述控制电路包括：第一继电器、第二继电器、第三继电器、监测装置以及控制主板；其中，

所述第一继电器、所述第二继电器、所述控制主板以及所述监测装置依次串联形成控制回路；所述第三继电器与所述第二继电器电连接；

所述第一继电器闭合时所述发泡机通电工作，在所述发泡机输出的水溶剂的电阻率处于预设范围内时，所述第三继电器失电断开，所述第二继电器失电闭合，所述控制回路闭合，所述监测装置将监测的所述划片机工作所需参数输出至所述控制主板，所述控制主板在接收到所述工作所需参数时控制所述划片机进行切割工作；

在所述电阻率超出所述预设范围时，所述第三继电器得电闭合，所述第二继电器得电断开，所述控制回路断开，所述控制主板控制所述划片机停止切割工作。

本申请部分实施例所达到的主要技术效果是：通过第一继电器、所述第二继电器、所述控制主板以及所述监测装置依次串联形成控制回路，且将第三继电器与所述第二继电器电连接，可以在所述电阻率超出所述预设范围时，断开控制回路，进而，控制所述划片机停止切割工作。这样，可以在发泡机提供的切割水的电阻率异常时及时使得划片机停止切割芯片，及时有效地预防在芯片切割过程中对芯片造成的静电污染，降低芯片失效的风险并极大的提高产品良率和生产效率。

在一个实施例中，所述监测装置可为流量计，所述工作所需参数可为所述划片机的主轴冷却水流量。由于主轴冷却水信号是直接连接划片机的主轴的，如果出现主轴冷却水信号异常，比如无信号，主轴会在控制主板的控制下立即停止动作，进而停止切割芯片，而在消除信号异常后又可直接恢复切割，无需复位等处理，可以减少处理系统异常的时间，有利于提高生产效率。