[发明专利]压电致动器和压电致动板

说明书

一种压电致动器和压电致动板，其中的压电致动器适用于一微型流体传输装置，包含：悬浮板、外框、至少一支架，悬浮板具有第一厚度，外框环绕于悬浮板周边且具有第三厚度，至少一支架连接于悬浮板与外框之间并具有第四厚度，其中，第三厚度大于第一厚度，第一厚度大于第四厚度，透过悬浮板、外框及支架蚀刻制成构成不同阶梯结构，以减少其支架的厚度，增加支架的弹性，使悬浮板垂直的位移量增加，进而提升微型流体传输装置的效率。

【技术领域】

本案是关于一种压电致动器，尤指一种适用于微型流体传输装置的压电致动器。

【背景技术】

目前于各领域中无论是医药、电脑科技、打印、能源等工业，产品均朝精致化及微小化方向发展，其中微帮浦、喷雾器、喷墨头、工业打印装置等产品所包含的流体输送结构为其关键技术，是以，如何借创新结构突破其技术瓶颈，为发展的重要内容。

举例来说，于医药产业中，许多需要采用气压动力驱动的仪器或设备，通常采以传统马达及气压阀来达成其流体输送的目的。然而，受限于此等传统马达以及流体阀的体积限制，使得此类的仪器设备难以缩小其整体装置的体积，即难以实现薄型化的目标，更无法使的达成可携式的目的。此外，这些传统马达于作动时亦会产生噪音的问题，导致使用上的不便利及不舒适。

将流体传输装置微小、轻薄化以适用于上述领域后，随着体积的缩减，微型流体传输装置的于流体传输上的效率也会随的降低，因此，如何透过压电致动器的设计以提升微型流体传输装置的效率，以达到体积小、微型化且静音的微型流体传输装置，实为目前迫切需要解决的问题。

【发明内容】

本案的主要目的在于提供一种适用于微型流体传输装置的压电致动器，透过悬浮板、外框及支架蚀刻制成构成不同阶梯结构，以减少其支架的厚度，增加支架的弹性，使悬浮板垂直的位移量增加，进而提升微型流体传输装置的效率。

为达上述目的，本案的一较广义实施态样为提供了一种压电致动器，适用于一微型流体传输装置，包含：一压电致动板以及一压电元件，其中该压电致动板更包含有：一悬浮板，具有一悬浮板顶面及相对设置的一悬浮板底面，且该悬浮板顶面上具有一凸部，该凸部具有一凸部顶面，而该悬浮板顶面及该悬浮板底面之间定义一第一厚度，该凸部的该凸部顶面与该悬浮板底面之间定义一第二厚度；一外框，环绕设置于该悬浮板的周边，且具有一外框顶面及相对设置的一外框底面，该外框的该外框顶面与该外框底面之间定义一第三厚度；至少一支架，连接于该悬浮板与该外框之间，且具有一支架顶面及相对设置的一支架底面，该支架顶面与该支架底面之间定义一第四厚度；至少一凹槽，设置于该至少一支架的相邻位置，该至少一凹槽具有一槽底面；该压电元件，贴附于该悬浮板底面；其中，该第三厚度大于该第一厚度，该第一厚度大于该第四厚度。

本案的一较广义实施态样为提供了一种压电致动板，适用于一微型流体传输装置的压电致动器，包含：一悬浮板，具有一悬浮板顶面及相对设置的一悬浮板底面，且该悬浮板顶面上具有一凸部，该凸部具有一凸部顶面，而该悬浮板顶面及该悬浮板底面之间定义一第一厚度，该凸部的该凸部顶面与该悬浮板底面之间定义一第二厚度；一外框，环绕设置于该悬浮板的周边，且具有一外框顶面及相对设置的一外框底面，该外框的该外框顶面与该外框底面之间定义一第三厚度；至少一支架，连接于该悬浮板与该外框之间，且具有一支架顶面及相对设置的一支架底面，该支架顶面与该支架底面之间定义一第四厚度；以及至少一凹槽，设置于该至少一支架的相邻位置，该至少一凹槽具有一槽底面；其中，该第三厚度大于该第一厚度，该第一厚度大于该第四厚度。

【附图说明】

图1所示为微型流体传输装置的剖面结构示意图。

图2A所示为微型流体传输装置相关构件的正面分解示意图。

图2B所示为流体控制装置相关构件的背面分解示意图。

图3A所示为压电致动板的第一实施例剖面示意图。