[发明专利]压电致动器和压电致动板有效
| 申请号： | 201710333246.4 | 申请日： | 2017-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN108880320B | 公开（公告）日： | 2020-01-24 |
| 发明（设计）人： | 廖鸿信;陈世昌;廖家淯;韩永隆;李伟铭 | 申请（专利权）人： | 研能科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H02N2/02 | 分类号： | H02N2/02;F04B43/04 |
| 代理公司： | 31100 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 喻学兵 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 悬浮板 外框 支架 压电致动器 传输装置 微型流体 蚀刻 阶梯结构 支架连接 垂直的 位移量 环绕 | ||
1.一种压电致动器，适用于一微型流体传输装置，其特征在于，包含：
一压电致动板，包括有：
一悬浮板，具有一悬浮板顶面及相对设置的一悬浮板底面，且该悬浮板顶面上具有一凸部，该凸部具有一凸部顶面，而该悬浮板顶面及该悬浮板底面之间定义一第一厚度，该凸部的该凸部顶面与该悬浮板底面之间定义一第二厚度；
一外框，环绕设置于该悬浮板的周边，且具有一外框顶面及相对设置的一外框底面，该外框的该外框顶面与该外框底面之间定义一第三厚度；
至少一支架，连接于该悬浮板与该外框之间，且具有一支架顶面及相对设置的一支架底面，该支架顶面与该支架底面之间定义一第四厚度；
至少一凹槽，设置于该至少一支架的相邻位置，该至少一凹槽具有一槽底面；以及
一压电元件，贴附于该悬浮板底面；
其中，该第三厚度大于该第一厚度，该第一厚度大于该第四厚度。
2.如权利要求1所述的压电致动器，其特征在于，该第三厚度等于该第二厚度。
3.如权利要求1或2中任一所述的压电致动器，其特征在于，该凸部顶面与该外框顶面共平面；该至少一凹槽的该槽底面与该至少一支架的该支架顶面共平面；该悬浮板的该悬浮板底面、该至少一支架的该支架底面及该外框的该外框底面共平面。
4.如权利要求3所述的压电致动器，其特征在于，该悬浮板顶面、该至少一支架的该支架顶面以及该至少一凹槽的该槽底面由蚀刻制程形成同一平面的阶梯结构。
5.如权利要求1或2项中任一所述的压电致动器，其特征在于，该凸部的该凸部顶面与该外框的该外框顶面共平面；该至少一凹槽的该槽底面、该至少一支架的该支架顶面、该悬浮板的该悬浮板顶面共平面；该悬浮板的该悬浮板底面与该外框的该外框底面共平面。
6.如权利要求5所述的压电致动器，其特征在于，该悬浮板顶面、该至少一支架的该支架顶面、该支架底面以及该至少一凹槽的该槽底面由蚀刻制程形成在不同平面呈现上、下阶梯结构。
7.如权利要求1或2中任一所述的压电致动器，其特征在于，该第三厚度为295～305μm。
8.如权利要求7所述的压电致动器，其特征在于，该第一厚度为265～275μm。
9.如权利要求8所述的压电致动器，其特征在于，该第四厚度为250～260μm。
10.一种压电致动板，适用于一微型流体传输装置的一压电致动器，其特征在于包含：
一悬浮板，具有一悬浮板顶面及相对设置的一悬浮板底面，且该悬浮板顶面上具有一凸部，该凸部具有一凸部顶面，而该悬浮板顶面及该悬浮板底面之间定义一第一厚度，该凸部的该凸部顶面与该悬浮板底面之间定义一第二厚度；
一外框，环绕设置于该悬浮板的周边，且具有一外框顶面及相对设置的一外框底面，该外框的该外框顶面与该外框底面之间定义一第三厚度；
至少一支架，连接于该悬浮板与该外框之间，且具有一支架顶面及相对设置的一支架底面，该支架顶面与该支架底面之间定义一第四厚度；以及
至少一凹槽，设置于该至少一支架的相邻位置，该至少一凹槽具有一槽底面；
其中，该第三厚度大于该第一厚度，该第一厚度大于该第四厚度。
11.如权利要求10所述的压电致动板，其特征在于，该第三厚度等于该第二厚度。
12.如权利要求10或11项中任一所述的压电致动板，其特征在于，该凸部顶面与该外框顶面共平面；该至少一凹槽的该槽底面与该至少一支架的该支架顶面共平面；该悬浮板的该悬浮板底面、该至少一支架的该支架底面及该外框的该外框底面共平面。
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