[发明专利]固晶机及其拾取键合装置

权利要求书

1.一种固晶机的拾取键合装置，包括竖直设置的驱动轴(1)和水平设置的固晶臂(2)，所述驱动轴(1)连接所述固晶臂(2)的一端并能够带动所述固晶臂(2)旋转和上下移动，所述固晶臂(2)的另一端设置有能够吸取晶圆的吸取装置(3)，其特征在于，所述吸取装置(3)包括安装于所述固晶臂(2)另一端的转盘(31)、驱动所述转盘(31)转动的驱动装置和安装于所述转盘(31)的多个吸嘴(32)，多个所述吸嘴(32)围绕所述转盘(31)的旋转轴线依次排列，且多个所述吸嘴(32)的开口均沿所述转盘(31)端面的半径向外设置，所述驱动装置能够驱动所述转盘(31)转动以使多个所述吸嘴(32)的开口依次竖直向下，且所述吸嘴(32)的开口竖直向下时吸取或键合晶圆。

2.根据权利要求1所述的拾取键合装置，其特征在于，所述转盘(31)的旋转轴线与所述固晶臂(2)的延伸方向重合。

3.根据权利要求2所述的拾取键合装置，其特征在于，还对应设置有多个中部设置有弯折的连接件(33)，所述连接件(33)的一端平行于所述转盘(31)的旋转轴线并连接所述转盘(31)的端面，所述连接件(33)的另一端平行于所述转盘(31)端面的半径并连接所述吸嘴(32)。

4.根据权利要求3所述的拾取键合装置，其特征在于，所述连接件(33)安装于所述转盘(31)远离所述固晶臂(2)的一侧端面。

5.根据权利要求4所述的拾取键合装置，其特征在于，包括四个均匀排布的所述吸嘴(32)。

6.根据权利要求1所述的拾取键合装置，其特征在于，所述驱动装置具体为步进电机。

7.根据权利要求1所述的拾取键合装置，其特征在于，驱动轴(1)包括用于驱动所述固晶臂(2)旋转的旋转轴和用于驱动所述固晶臂(2)上下移动的竖直轴，所述旋转轴和所述竖直轴的轴线重合且相互连接。

8.根据权利要求1至7任意一项所述的拾取键合装置，其特征在于，所述转盘(31)上设置有分别对应所述吸嘴(32)的多个定位槽，所述固晶臂(2)上固定设置有匹配所述定位槽的定位块。

9.一种固晶机，包括机架以及安装于所述机架的拾取键合装置，其特征在于，所述拾取键合装置具体为权利要求1至8任意一项所述的拾取键合装置。