[发明专利]一种涂布机管路的清洁方法及清洁装置

说明书

本发明提供一种涂布机管路的清洁方法及清洁装置，所述方法包括：通过使用光阻溶剂对待清洁管路进行清洗；待所述光阻溶剂清洗完毕后，使用清洗剂与惰性气体合成后的第一二流体对待清洁管路进行清洗；待所述第一二流体清洗完毕后，使用有机溶剂与惰性气体合成后的第二二流体对待清洁管路进行清洗；待所述第二二流体清洗完毕后，使用干燥洁净空气对待清洁管路进行干燥。本发明通过先使用光阻溶剂进行管路清洁，再依次使用清洗剂与惰性气体及有机溶剂与惰性气体合成的气液二流体进行管路清洁，最后使用干燥洁净空气进行管路干燥。加强了清洁的效果，并且避免了光阻溶剂残留，极大的提高了涂布机管路的清洁效率。

技术领域

本发明涉及光学工艺技术领域，尤其涉及一种涂布机管路的清洁方法及清洁装置。

背景技术

在液晶面板的制造过程中，需要利用涂布机的管路将光刻胶传导至印刷喷头处，再通过印刷喷头将光刻胶喷印在基板上，待光刻胶自然扩散均匀后，再通过加热的方式使光刻胶成型。因此，涂布机管路的清洁度将直接影响产品的良率。

现有的涂布机管路的清洁方法，首先使用光阻溶剂(Solvent)将管路中的光刻胶冲洗干净，然后再用干燥洁净空气将管路中残留的光阻溶剂吹干，以便通入新的光刻胶。

然而，现有的涂布机管路的清洁方法需要反复多次清洗才可达到理想效果，管路清洁效率低，且光阻溶剂易残留。

发明内容

本发明实施例提供一种涂布机管路的清洁方法及清洁装置，可以解决光阻溶剂残留的问题，提高涂布机管路的清洁效率。

本发明实施例提供了一种涂布机管路的清洁方法，包括：

通过使用光阻溶剂对待清洁管路进行清洗；

待所述光阻溶剂清洗完毕后，使用清洗剂与惰性气体合成后的第一二流体对待清洁管路进行清洗；

待所述第一二流体清洗完毕后，使用有机溶剂与惰性气体合成后的第二二流体对待清洁管路进行清洗；

待所述第二二流体清洗完毕后，使用干燥洁净空气对待清洁管路进行干燥。

本发明实施例还提供了一种涂布机管路的清洁装置，包括待清洁管路、向所述待清洁管路提供光阻溶剂的第一清洁管路、向所述待清洁管路提供清洗剂的第二清洁管路、向所述待清洁管路提供惰性气体的第三清洁管路、向所述待清洁管路提供有机溶剂的第四清洁管路及向所述待清洁管路提供干燥洁净空气的第五清洁管路，所述第一清洁管路上设置有第一阀门，所述第二清洁管路上设置有第二阀门，所述第三清洁管路上设置有第一分支及第二分支，所述第一分支上设置有第三阀门，所述第二分支上设置有第四阀门，所述第一分支与所述第二清洁管道合成，所述第二分支与所述第四清洁管道合流，所述第四清洁管路上设置有第五阀门，所述第五清洁管路上设置有第六阀门；其中所述清洁装置包括四种清洁状态，所述四种清洁状态依次执行，当处于第一清洁状态时，通过使用光阻溶剂对待清洁管路进行清洗，当处于第二清洁状态时，使用清洗剂与惰性气体合成后的第一二流体对待清洁管路进行清洗，当处于第三清洁状态时，使用有机溶剂与惰性气体合成后的第二二流体对待清洁管路进行清洗，当处于第四清洁状态时，使用干燥洁净空气对待清洁管路进行干燥。

本发明提供的一种涂布机管路的清洁方法及清洁装置，通过先使用光阻溶剂进行管路清洁，再依次使用清洗剂与惰性气体及有机溶剂与惰性气体合成的气液二流体进行管路清洁，最后使用干燥洁净空气进行管路干燥。加强了清洁的效果，并且避免了光阻溶剂残留，极大的提高了涂布机管路的清洁效率。

附图说明

图1是本发明实施例提供的涂布机管路的清洁方法的流程示意图。

图2是本发明实施例提供的涂布机管路的清洁装置的结构示意图。

图3是本发明实施例提供的涂布机管路的清洁装置的另一结构示意图。

具体实施方式