[发明专利]一种涂布机管路的清洁方法及清洁装置

权利要求书

1.一种涂布机管路的清洁装置，其特征在于，包括待清洁管路、向所述待清洁管路提供光阻溶剂的第一清洁管路、向所述待清洁管路提供清洗剂的第二清洁管路、向所述待清洁管路提供惰性气体的第三清洁管路、向所述待清洁管路提供有机溶剂的第四清洁管路及向所述待清洁管路提供干燥洁净空气的第五清洁管路，所述第一清洁管路上设置有第一阀门，所述第二清洁管路上设置有第二阀门，所述第三清洁管路上设置有第一分支及第二分支，所述第一分支上设置有第三阀门，所述第二分支上设置有第四阀门，所述第一分支与所述第二清洁管道合流，所述第二分支与所述第四清洁管道合流，所述第四清洁管路上设置有第五阀门，所述第五清洁管路上设置有第六阀门；其中所述清洁装置包括四种清洁状态，所述四种清洁状态依次执行，当处于第一清洁状态时，通过使用光阻溶剂对待清洁管路进行清洗，当处于第二清洁状态时，使用清洗剂与惰性气体合成后的第一二流体对待清洁管路进行清洗，当处于第三清洁状态时，使用有机溶剂与惰性气体合成后的第二二流体对待清洁管路进行清洗，当处于第四清洁状态时，使用干燥洁净空气对待清洁管路进行干燥。

2.如权利要求1所述的涂布机管路的清洁装置，其特征在于，所述第一阀门、第二阀门、第三阀门、第四阀门、第五阀门以及第六阀门处于关闭状态，当所述清洁装置处于第一清洁状态时，第一阀门开启，当所述清洁装置处于第二清洁状态时，第一阀门关闭，第二阀门及第三阀门开启，当所述清洁装置处于第三清洁状态时，第二阀门及第三阀门关闭，第四阀门及第五阀门开启，当所述清洁装置处于第四清洁状态时，第四阀门及第五阀门关闭，第六阀门开启。

3.如权利要求2所述的涂布机管路的清洁装置，其特征在于，所述装置还包括第一二流体合成器，所述第一二流体合成器的一侧与第二清洁管路及第三清洁管路的第一分支连接，另一侧与待清洁管路连接。

4.如权利要求3所述的涂布机管路的清洁装置，其特征在于，所述装置还包括第二二流体合成器，所述第二二流体合成器的一侧与第三清洁管路的第二分支及第四清洁管路连接，另一侧与待清洁管路连接。

5.如权利要求1-4任一项所述的涂布机管路的清洁装置，其特征在于，所述惰性气体为氮气。

6.如权利要求1-4任一项所述的涂布机管路的清洁装置，其特征在于，所述有机溶剂为丙酮。

7.如权利要求4所述的涂布机管路的清洁装置，其特征在于，所述待清洗管路上依次连接有光阻暂存罐、过滤芯、排泡模组、涂布泵及涂布喷嘴。