[发明专利]研磨机系统

说明书

本发明涉及一种研磨机系统。提供了一种能够适当地执行修整的研磨机系统。研磨机系统包括：主轴座(20)，其支承工件(W)能够旋转；磨轮(50)，其研磨工件(W)；修整器(60)，其修整磨轮(50)；传感器(100)，其对与由磨轮(50)研磨的工件(W)和除工件(W)之外的对象中任一个对应的研磨对象的表面粗糙度进行检测；以及控制装置(110)，其执行与修整磨轮(50)有关的控制。控制装置(110)基于通过传感器(100)检测到的研磨对象的表面粗糙度来确定：是否需要修整磨轮(50)；对磨轮(50)的修整是否被适当地执行；或在修整磨轮(50)之后直至下一次修整之前为止，经研磨的工件(W)的数目是否适当。

技术领域

本发明涉及一种研磨机系统。

背景技术

专利文献1公开了一种研磨机的敷料间隔(dressing interval)控制装置，其测量经过研磨的工件的表面粗糙度并且基于测量结果确定是否执行磨石成形。

此外，专利文献2公开了一种技术，该技术在磨石接触整修器(dresser)时检测在磨石中生成的弹性波并且基于与检测到的弹性波对应的测量值来确定磨石是否接触到整修器。

引用列表

专利文献

专利文献1：JP-UM-A-06-657

专利文献2：JP2010-30022A

发明内容

本发明要解决的问题

然而，在专利文献1中所公开的技术中，在测量工件的表面粗糙度时，不能开始对下一个工件的研磨。因此，当对经过研磨的所有工件的表面粗糙度进行测量时，工件的加工效率降低。同时，基于操作者的经验难以判断磨石成形的最佳定时。

此外，专利文献2中所公开的技术是在整修之前定位磨石和整修器的技术，并且不能用于检查是否整修之后适当地执行整修。

本发明的目的是提供一种能够适当地执行修整的研磨机系统。

解决问题的手段

本发明的研磨机系统包括：主轴座，其支承工件能够进行旋转；磨轮，其用于研磨工件；修整器，其用于修整磨轮；传感器，其对与磨轮研磨的工件和除工件之外的对象中的任一个对应的研磨对象的表面粗糙度进行检测；以及控制装置，其执行与修整磨轮有关的控制。控制装置基于通过传感器检测到的研磨对象的表面粗糙度来确定：是否需要修整磨轮；对磨轮的修整是否被适当地执行；或在修整所述磨轮之后直至下一次修整之前为止经研磨工件的数目是否适当。

根据本发明的研磨机系统，控制装置基于通过传感器检测到的研磨对象的表面粗糙度来确定是否需要修整磨轮、对磨轮的修整是否被适当地执行、或在修整所述磨轮之后直至下一次修整之前为止经研磨工件的数目是否适当。因此，研磨机系统可以适当地执行修整。

附图说明

图1是示出根据本发明的第一实施方式的研磨机的俯视图。

图2是示出由传感器保持部保持的传感器单元的横截面图。

图3是示出控制装置的框图。

图4是示出由初始化单元执行的设置初始化处理的流程图。

图5是示出由选择单元执行的选择处理的流程图。

图6是示出由第一修整必要性确定单元执行的第一修整必要性确定处理的流程图。

图7是示出由第二修整必要性确定单元执行的第二修整必要性确定处理的流程图。

图8是示出由最佳研磨数目计算单元执行的最佳研磨数目计算处理的流程图。

图9是示出根据第二实施方式的研磨机中使用的控制装置的框图。