[发明专利]研磨机系统

权利要求书

1.一种研磨机系统，包括：

主轴座(20，620)，其支承工件(W)能够旋转；

磨轮(50)，其研磨所述工件(W)；

修整器(60)，其修整所述磨轮(50)；

传感器(100)，其检测与由所述磨轮(50)研磨的工件(W)和除所述工件(W)之外的对象中的任一个对应的研磨对象的表面粗糙度；以及

控制装置(110，310，510，710，910，1110，1310，1510，1710)，其执行与修整所述磨轮(50)有关的控制，

其中，所述控制装置(110，310，510，710，910，1110，1310，1510，1710)基于通过所述传感器(100)检测到的研磨对象的表面粗糙度来确定：是否需要修整所述磨轮(50)；对所述磨轮(50)的修整是否被适当地执行；或在修整所述磨轮(50)之后直至下一次修整之前为止，经研磨的工件(W)的数目是否适当，

其中，所述控制装置包括：

研磨数目计数器(141)，在由所述修整器(60)执行修整之后直至下一次修整之前为止，所述研磨数目计数器(141)对由所述磨轮(50)研磨的工件(W)的数目进行计数；

最佳研磨数目计算单元(132)，其基于经所述研磨数目计数器(141)计数的工件(W)的数目和所述传感器(100)的检测结果来计算能够在一次修整期间由所述磨轮(50)研磨的工件(W)的数目，并且所述最佳研磨数目计算单元(132)将所计算的值设置作为在一次修整期间由所述磨轮(50)研磨的工件(W)的最佳研磨数目；

第一修整必要性确定单元(133)，当经所述研磨数目计数器(141)计数的研磨工件(W)的数目达到所述最佳研磨数目时，所述第一修整必要性确定单元(133)确定需要修整所述磨轮(50)；

第二修整必要性确定单元(134)，当通过所述传感器(100)检测到的工件(W)的表面粗糙度未达到预定参考值时，所述第二修整必要性确定单元(134)确定需要修整所述磨轮(50)；以及

选择单元(135)，当所述最佳研磨数目被设置时所述选择单元(135)通过所述第一修整必要性确定单元(133)确定是否需要修整，而当所述最佳研磨数目未被设置时所述选择单元(135)通过所述第二修整必要性确定单元(134)确定是否需要修整。

2.根据权利要求1所述的研磨机系统，

其中，所述第二修整必要性确定单元(134)通过所述传感器(100)检测所有研磨工件(W)的表面粗糙度。

3.根据权利要求1所述的研磨机系统，

其中，在经所述研磨数目计数器(141)计数的研磨工件(W)的数目达到预定的研磨数目之后，所述第二修整必要性确定单元(134)通过所述传感器(100)检测被研磨的工件(W)的表面粗糙度。

4.根据权利要求1所述的研磨机系统，

其中，所述研磨对象是使用所述磨轮(50)经过研磨的工件(W)，并且

其中，在所述工件(W)由所述主轴座(20，620)支承的状态下，所述传感器(100)检测所述工件(W)的表面粗糙度。

5.根据权利要求1所述的研磨机系统，包括：

多个研磨机，其至少包括所述主轴座(20，620)、磨轮(50)、修整器(60)和传感器(100)；以及

分析单元，其设置在连接到所述多个研磨机的网络上，

其中，最佳研磨数目计算单元(132)设置在所述分析单元中并基于从所述多个研磨机中发送的数据来计算能够在一次修整期间由所述磨轮(50)研磨的工件(W)的数目，并且所述最佳研磨数目计算单元(132)将所计算的值设置作为在一次修整期间由所述磨轮(50)研磨的工件(W)的最佳研磨数目，或者

其中，研磨数目确定单元(1334)设置在所述分析单元中并基于从所述多个研磨机中发送的数据来确定研磨数目的当前值是否适当，并且所述研磨数目确定单元(1334)基于确定结果再次设置用于下一次研磨的研磨数目。