[发明专利]真空排水装置在审
| 申请号： | 201710281447.4 | 申请日： | 2017-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN108807137A | 公开（公告）日： | 2018-11-13 |
| 发明（设计）人： | 谢晶伟;刘豫东;刘雅茹;边晓东;刘玉倩;高荣荣 | 申请（专利权）人： | 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所） |
| 主分类号： | H01L21/02 | 分类号： | H01L21/02;H01L21/67;H01L21/683 |
| 代理公司： | 北京中建联合知识产权代理事务所(普通合伙) 11004 | 代理人： | 朱丽岩;叶民生 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空排水装置 排液 过滤器 真空发生器 隔膜阀 晶圆 排水电磁阀 单向活门 排液效率 陶瓷吸盘 吸附 正压 压力表 湿法清洗设备 过滤减压阀 化学清洗液 压力传感器 真空电磁阀 真空隔膜阀 晶圆清洗 排水装置 生产安全 使用寿命 真空压力 真空泵 负压 破碎 流出 保证 | ||
1.一种真空排水装置，包括气源（14）以及传统湿法清洗设备中的陶瓷吸盘（15），其特征在于：所述气源（14）出口分为两路，一路通过PFA软管依次连接正压隔膜阀（10）、真空发生器（9）、负压隔膜阀（8）、过滤器（7）、单向活门（6）以及陶瓷吸盘（15），另一路通过PFA软管与过滤减压阀（1）连接，所述过滤器（7）还连接排液隔膜阀（4），所述单向活门（6）与陶瓷吸盘（15）之间的真空管路上设有带压力传感器的压力表（5）；所述过滤减压阀（1）的出口分为两路，一路通过PFA软管与真空电磁阀（2）的进气接头连接，另一路与排水电磁阀（3）的进气接头连接，所述真空电磁阀（2）的出气口分为两路，一路与正压隔膜阀（10）受控端连接，另一路与负压隔膜阀（8）受控端连接，所述排水电磁阀（3）的出气口分为两路，一路与排液隔膜阀（4）的受控端连接，另一路与负压隔膜阀（8）和过滤器（7）之间的真空管路连接。
2.根据权利要求1所述的真空排水装置，其特征在于：所述过滤器（7）上设有高液位传感器（11）、低液位传感器（12）和排放口（13），所述排放口（13）连接排液隔膜阀（4），所述过滤器（7）上的高液位传感器（11）、低液位传感器（12）以及带压力传感器的压力表（5）均与程控系统有线连接，所述真空电磁阀（2）和排水电磁阀（3）均与程控系统有线连接，且工作状态互为相反。
3.根据权利要求1或2所述的真空排水装置，其特征在于：所述真空电磁阀（2）在通电状态下排水电磁阀电磁（3）处在断电状态，真空电磁阀（2）在断电状态下排水电磁阀电磁（3）处在通电状态，所述真空电磁阀（2）在通电状态下，正压隔膜阀（10）和负压隔膜阀（8）处在打开状态，真空电磁阀（2）处在断电状态下，正压隔膜阀（10）和负压隔膜阀（8）处在关闭状态，所述排水电磁阀（3）在通电状态下，排液隔膜阀（4）处在打开状态，过滤器（7）处在正压状态，排水电磁阀（3）在断电状态下，排液隔膜阀（4）处在关闭状态。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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