[发明专利]基于法布里珀罗腔干涉测量脉冲激光能量传感器及脉冲光能量测量方法

权利要求书

1.一种基于法布里珀罗腔干涉测量脉冲激光能量传感器，其特征是：包括检测信号模块(1)、传感模块(2)和被检测脉冲激光采集模块(3)，所述检测信号模块(1)由可调谐激光光源(10)、光谱仪(11)和一乘二光纤耦合器(12)构成；所述检测脉冲光能量传感模块(2)由石英玻璃管(20)，第一单模光纤(22)，第二单模光纤(25)，镀银的铝制薄片(24)以及干涉腔(23)构成；被检测脉冲激光的采集模块(3)主要由光纤准直镜(30)构成；第一单模光纤(22)、第二单模光纤(25)和镀银的铝制薄片(24)固定在石英玻璃管(20)内部并且均同轴；在第一单模光纤(22)与镀银的铝制薄片(24)之间留有干涉腔(23)；可调谐激光光源(10)的输出端连接一乘二光纤耦合器(12)，一乘二光纤耦合器(12)的另外两个端口分别连接着光谱仪(11)和第一单模光纤(22)；光纤准直镜(30)连接第二单模光纤(25)；

从可调谐激光光源(10)输出的光不会直接导入到光谱仪(11)中；导入到第一单模光纤(22)的光与被镀银的铝制薄片(24)反射的光在干涉腔(23)中发生干涉，干涉信号通过第一单模光纤(22)导入到光谱仪(11)中进行信号采集及记录；光纤准直镜(30)连接第二单模光纤(25)，通过光纤准直镜(30)耦合到第二单模光纤(25)中的脉冲光在光纤尖端产生的冲击力使镀银的铝制薄片(24)发生形变，改变干涉腔(23)的腔长；

第一单模光纤(22)、第二单模光纤(25)和镀银的铝制薄片(24)通过胶(21)固定在石英玻璃管(20)内部，所述胶(21)为紫外固化胶。

2.一种利用权利要求1所述的基于法布里珀罗腔干涉测量脉冲激光能量传感器的脉冲光能量测量方法，其特征是：首先开启检测信号模块(1)中的可调谐激光光源(10)，向脉冲激光能量传感模块注入宽谱光，在被测脉冲激光采集模块(3)为采集脉冲激光时，使用光谱仪(11)采集静止时的干涉光谱图像，得到初始情况下的干涉谱线，随后使用光纤准直镜采集不同能量E的脉冲激光，在脉冲激光的作用下，镀银的铝制薄片(24)的厚度会发生改变Δd，干涉谱线的吸收峰位置相应发生移动ΔL，在已知脉冲激光能量E的情况下得到能量E与峰值位置平移距离的ΔL的关系库，如果采集未知能量的脉冲激光，根据吸收峰平移的距离ΔL对应得到其相应的脉冲光能量E。