[发明专利]气体供应线组件

权利要求书

1.一种气体供应线组件，包含：

电介质主体；

至少一个通道，所述通道延伸穿过所述电介质主体；以及

电介质管，所述电介质管设置在所述至少一个通道中，其中所述通道的内直径大于所述电介质管的外直径使得在所述电介质管的外壁和所述通道的内壁之间形成间隙。

2.如权利要求1所述的气体供应线组件，其中所述电介质管的内壁具有在约5Ra至约10Ra之间的表面粗糙度。

3.如权利要求1所述的气体供应线组件，其中所述电介质主体由氧化铝形成。

4.如权利要求1所述的气体供应线组件，其中所述电介质管由石英、聚四氟乙烯、氮化硅、或氮化铝形成。

5.如权利要求1至4中任一项所述的气体供应线组件，其中所述电介质管的所述外直径是约20.066毫米且所述通道的所述内直径是约20.32毫米。

6.如权利要求1至4中任一项所述的气体供应线组件，其中所述间隙是约5毫米厚。

7.如权利要求1至4中任一项所述的气体供应线组件，其中进一步包含：

第一管道，所述第一管道穿过所述电介质管设置；以及

第二管道，所述第二管道穿过所述电介质主体设置。

8.一种处理腔室，包含：

腔室主体，所述腔室主体具有设置在处理容积中的基板支撑件；

盖子，所述盖子可移动地耦接至所述腔室主体；

盖子歧管，所述盖子歧管可移动地耦接至所述盖子的上表面并具有中央通道和流体耦接至所述中央通道的至少一个气体供应入口；

气体板，所述气体板通过至少一个气体管线流体耦接至所述盖子歧管并具有至少一个气体源和气体入口歧管；以及

气体供应线组件，所述气体供应线组件设置在所述气体入口歧管与所述盖子歧管之间，所述气体供应线组件如权利要求1至4中任一项所述，其中所述电介质管包括第一管道，所述第一管道流体耦接至并对应于所述至少一个气体管线。

9.如权利要求8所述的处理腔室，其中所述气体板通过第一气体管线和第二气体管线流体耦接至所述盖子歧管，其中所述第一管道流体耦接至所述第一气体管线，并且其中所述气体供应线组件进一步包含第二管道，所述第二管道穿过所述电介质主体设置并流体耦接至所述第二气体管线。

10.如权利要求9所述的处理腔室，其中所述第一气体管线被耦接至金属有机前驱物气体源，并且其中所述第二气体管线被耦接至还原性气体源。

11.如权利要求9所述的处理腔室，进一步包含：

第一对O形环，所述第一对O形环设置在所述电介质管与所述盖子歧管的第一界面处和所述电介质管与所述气体入口歧管的第二界面处，其中所述第一对O形环与所述第一管道同心；以及

第二对O形环，所述第二对O形环设置在所述电介质主体与所述盖子歧管的第一界面处和所述电介质主体与所述气体入口歧管的第二界面处，其中所述第二对O形环与所述第二管道同心。

12.如权利要求11所述的处理腔室，其中所述第一对O形环和所述第二对O形环由热绝缘材料形成。

13.如权利要求8所述的处理腔室，其中所述电介质管的所述外直径是约20.066毫米且所述通道的所述内直径是20.2毫米。

14.如权利要求8所述的处理腔室，其中所述间隙是约5毫米厚。

15.如权利要求8所述的处理腔室，进一步包含：

一或多个对准销，所述对准销设置在所述盖子歧管中并且于所述盖子歧管与所述气体供应线组件的界面处从所述盖子歧管的表面突出；以及

一或多个对准孔，所述一或多个对准孔对应于所述一或多个对准销并设置在所述电介质主体中。