[发明专利]红外线传感器

权利要求书

1.一种红外线传感器，具备：

具有凹部的基体基板；

热电堆红外线受光部；

第1梁；以及

第2梁，

所述第1梁的一端与所述红外线受光部连接，

所述第1梁的另一端与所述基体基板连接，

所述第2梁的一端与所述红外线受光部连接，

所述第2梁的另一端与所述基体基板连接，

在剖视时，所述凹部夹在所述红外线受光部与所述基体基板之间，以使得所述红外线受光部悬架在所述基体基板的上部，

在剖视时，所述凹部夹在所述第1梁与所述基体基板之间，以使得所述第1梁悬架在所述基体基板的上部，

在剖视时，所述凹部夹在所述第2梁与所述基体基板之间，以使得所述第2梁悬架在所述基体基板的上部，

所述第1梁包含p型第1域、p型第2域以及p型第3域，

在俯视时，所述p型第1域夹在所述p型第2域与所述红外线受光部之间，

所述p型第1域由具备以周期p1_p规则地排列的多个贯通孔的声子晶体形成，

在俯视时，所述p型第2域夹在所述p型第1域与所述p型第3域之间，

所述p型第2域由具备以周期p2_p规则地排列的多个贯通孔的声子晶体形成，

在俯视时，所述p型第3域夹在所述p型第2域与所述基体基板之间，

所述p型第3域由具备以周期p3_p规则地排列的多个贯通孔的声子晶体形成，

所述周期p2_p的值比所述周期p1_p的值大，

所述周期p3_p的值比所述周期p2_p的值大，

所述第2梁包含n型第1域、n型第2域以及n型第3域，

在俯视时，所述n型第1域夹在所述n型第2域与所述红外线受光部之间，

所述n型第1域由具备以周期p1_n规则地排列的多个贯通孔的声子晶体形成，

在俯视时，所述n型第2域夹在所述n型第1域与所述n型第3域之间，

所述n型第2域由具备以周期p2_n规则地排列的多个贯通孔的声子晶体形成，

在俯视时，所述n型第3域夹在所述n型第2域与所述基体基板之间，

所述n型第3域由具备以周期p3_n规则地排列的多个贯通孔的声子晶体形成，

所述周期p2_n的值比所述周期p1_n的值大，并且

所述周期p3_n的值比所述周期p2_n的值大。

2.根据权利要求1所述的红外线传感器，还具备：

与所述第1梁电连接的第1布线；

与所述第2梁电连接的第2布线；

与所述第1布线电连接的第1电极；以及

与所述第2布线电连接的第2电极。