[发明专利]玻璃基板顶针及真空干燥装置在审
| 申请号： | 201710266788.4 | 申请日： | 2017-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN106873203A | 公开（公告）日： | 2017-06-20 |
| 发明（设计）人： | 胡云波 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13 |
| 代理公司： | 深圳市德力知识产权代理事务所44265 | 代理人： | 林才桂 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 玻璃 顶针 真空 干燥 装置 | ||
1.一种玻璃基板顶针，其特征在于，包括：本体(1)、设于所述本体(1)的顶部的凹槽(2)、以及设于所述凹槽(2)内并与所述凹槽(2)配合的滚珠(3)；
所述滚珠(3)的直径大于所述凹槽(2)的深度。
2.如权利要求1所述的玻璃基板顶针，其特征在于，所述本体(1)的材料为聚醚醚酮树脂或聚酰亚胺。
3.如权利要求1所述的玻璃基板顶针，其特征在于，所述滚珠(3)的材料的莫氏硬度小于5.6。
4.如权利要求3所述的玻璃基板顶针，其特征在于，所述滚珠(3)的材料为聚酰亚胺。
5.一种真空干燥装置，其特征在于，包括：工作腔(10)、设于所述工作腔(10)内的载台(20)、以及设于所述载台(20)上的多个间隔排列的玻璃基板顶针(30)；
所述玻璃基板顶针(30)包括：本体(1)、设于所述本体(1)的顶部的凹槽(2)、以及设于所述凹槽(2)内与所述凹槽(2)配合的滚珠(3)；
所述滚珠(3)的直径大于所述凹槽(2)的深度。
6.如权利要求5所述的真空干燥装置，其特征在于，还包括：真空泵(40)，所述真空泵(40)通过两条真空管(50)与所述工作腔(10)连通。
7.如权利要求5所述的真空干燥装置，其特征在于，所述多个玻璃基板顶针(30)呈阵列式排布。
8.如权利要求5所述的真空干燥装置，其特征在于，所述本体(1)的材料为聚醚醚酮树脂或聚酰亚胺。
9.如权利要求5所述的真空干燥装置，其特征在于，所述滚珠(3)的材料的莫氏硬度小于5.6。
10.如权利要求9所述的真空干燥装置，其特征在于，所述滚珠(3)的材料为聚酰亚胺。
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