[发明专利]一种提高刻蚀药液寿命的工艺

权利要求书

1.一种提高刻蚀药液寿命的工艺，其特征在于，包括以下几个步骤：

步骤1)：向药液活性低的刻蚀药液中加入其质量2～15％的盐，盐为强酸弱碱盐，阳离子为Fe²⁺、Co²⁺、Ni²⁺、Cu²⁺、Cr³⁺或Al³⁺离子，阴离子为Cl^-、SO₄^2-或NO₃^-酸根离子，同时加入其质量13～40‰的乙氧基化合物，混合并搅匀；

其中刻蚀药液中的SiF₆^2-阴离子与强酸弱碱盐水解的磁性阳离子反应通式如下：

刻蚀药液中的H⁺阳离子与强酸弱碱盐水解的阴离子反应通式如下：

步骤2)：将搅匀后的混合溶液经过磁场频率为20～40kHz空化，然后再将空化后溶液中的沉淀物X₂(SiF₆)_n滤出，滤出沉淀物X₂(SiF₆)_n后的溶液再通过离子交换树脂，得到滤液；

步骤3)：向步骤2)中的滤液加入去离子水，形成新溶液，保持pH值为1.8～2.3。

2.根据权利要求1所述的一种提高刻蚀药液寿命的工艺，其特征在于：步骤1)中乙氧基化合物为聚乙氧基化脂肪醇或者乙氧基化乙炔二醇。

3.根据权利要求1所述的一种提高刻蚀药液寿命的工艺，其特征在于：步骤2)中离子交换树脂为大孔型强酸性阳离子树脂、大孔型强碱性阴离子树脂或者二者的叠加。

4.根据权利要求1所述的一种提高刻蚀药液寿命的工艺，其特征在于：步骤3)中通过pH测试仪检测新溶液的pH值进而控制去离子水的量。