[发明专利]一种超声波清洗装置及基板处理系统

权利要求书

1.一种基板处理系统，包括，用于处理基板的处理装置；其特征在于，所述基板处理系统还包括，设置在待处理的基板进入所述处理装置入口处的超声波清洗装置，用于对所述待处理基板的待处理面进行清洗；

所述超声波清洗装置包括，

吹气单元，用于向待清洗的物体表面喷出气流；

超声波振荡发生器，用于使从所述吹气单元中喷出的所述气流发生振荡；

抽气单元，用于收集从所述待清洗的物体表面吹扫出的杂质；

其中，所述吹气单元包括压力腔和气体供应端；

所述抽气单元包括吸附腔、连接管路和抽气组件；

所述压力腔的腔壁与所述吸附腔的腔壁部分重叠连接在一起；

所述处理装置包括，负载锁定腔室；所述超声波清洗装置设置在所述负载锁定腔室的门上；

所述处理装置还包括，用于驱动所述负载锁定腔室的门开启和关闭的驱动气缸和向所述驱动气缸提供压缩气体的供气缸；

所述驱动气缸包括，气缸排气口；所述气缸排气口、所述供气缸均与所述超声波清洗装置的吹气单元连通，用于向所述吹气单元提供气体；

所述驱动气缸还包括，气缸本体、气缸进气口、连接杆和活塞；其中，所述气缸进气口与所述气缸排气口均设置在所述气缸本体上；所述活塞设置在所述气缸本体内；所述连接杆的一端设置在所述气缸本体内与所述活塞连接，另一端设置在所述气缸本体外与所述负载锁定腔室的门连接，用于驱动所述门开启和关闭；

所述处理装置还包括，流量控制器；所述供气缸通过所述流量控制器与所述气缸进气口、所述吹气单元连通；

所述基板处理系统还包括，连通所述气缸排气口与所述流量控制器的第一管路；

所述第一管路上设置有过滤器；

和/或，

所述基板处理系统还包括，连通所述气缸排气口的废气处理单元。

2.根据权利要求1所述的基板处理系统，其特征在于，

所述压力腔上设置有进气口和喷嘴；所述气体供应端与所述进气口连通，用于向所述压力腔内提供气体；

所述喷嘴用于向待清洗的物体表面喷出气流。

3.根据权利要求2所述的基板处理系统，

所述抽气组件用于通过所述连接管路使所述吸附腔内产生负压；

所述吸附腔上设置有吸入口，用于通过所述吸入口收集从所述待清洗的物体表面吹扫出的杂质。

4.根据权利要求3所述的基板处理系统，其特征在于，所述抽气组件包括，真空泵，用于使吸附腔内产生真空吸附效果。

5.根据权利要求2所述的基板处理系统，其特征在于，

所述喷嘴包括，狭缝喷嘴；

所述抽气单元中的所述吸附腔设置在沿所述狭缝喷嘴的长度方向的两侧中的至少一侧处。

6.根据权利要求2所述的基板处理系统，其特征在于，

所述喷嘴包括，狭缝喷嘴；

所述超声波振荡发生器设置在所述压力腔内，且位于所述狭缝喷嘴的长度方向的两侧中的至少一侧处。

7.根据权利要求3所述的基板处理系统，其特征在于，所述喷嘴的开口与所述吸入口的开口设置在同一平面内。

8.根据权利要求1所述的基板处理系统，其特征在于，所述超声波清洗装置的气体供应端包括，连通大气的负压装置；所述负压装置向所述压力腔提供的气体为空气。

9.根据权利要求1所述的基板处理系统，其特征在于，所述基板处理系统还包括，

监测传感器，用于监测所述负载锁定腔室的门开启和关闭；

与所述监测传感器相连的控制器，用于接收所述门的开启或关闭的信号，使得在所述门开启时控制所述超声波清洗装置开始工作和在所述门关闭时控制所述超声波清洗装置停止工作。