[发明专利]一种阵列基板及其制作方法、显示装置有效
申请号: | 201710253971.0 | 申请日: | 2017-04-18 |
公开(公告)号: | CN107146794B | 公开(公告)日: | 2019-08-02 |
发明(设计)人: | 杜海波 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电技术有限公司 |
主分类号: | H01L27/12 | 分类号: | H01L27/12;G02F1/1333 |
代理公司: | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人: | 钟子敏 |
地址: | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 阵列 及其 制作方法 显示装置 | ||
1.一种阵列基板的制作方法,其特征在于,包括:
提供一基板;
在所述基板上制作第一功能层;
在所述第一功能层上制作第一金属层,并在所述第一金属层上定义出第一类电极条以及第二类电极条;其中,所述第一类电极条将所述第二类电极条隔断;
在所述第一金属层上制作第二功能层,并在所述第二功能层上形成多个沿所述第二功能层厚度方向的第一通孔;
在所述第二功能层上制作第二金属层,并在所述第二金属层上定义出第三类电极条;其中,所述第三类电极条通过所述第一通孔将隔断的所述第二类电极条连接,以形成完整的第二类电极条。
2.根据权利要求1所述的制作方法,其特征在于,
所述在所述第一功能层上制作第一金属层,并在所述第一金属层上定义出第一类电极条以及第二类电极条,包括:
在所述第一功能层上制作第一金属层;
对所述第一金属层进行图案化,形成栅线和数据线;其中,所述栅线的延伸方向与所述数据线的延伸方向垂直,所述数据线被所述栅线隔断。
3.根据权利要求2所述的制作方法,其特征在于,
所述对所述第一金属层进行图案化,形成栅线和数据线,包括:
采用第一光罩和第一黄光制程对所述第一金属层进行处理,以形成栅线和数据线。
4.根据权利要求1所述的制作方法,其特征在于,
所述方法还包括:在隔断的所述第二类电极条两端形成沿所述第二类电极条厚度的第二通孔,以使所述第三类电极条通过所述第二通孔将所述隔断的所述第二类电极条连接;其中,所述第二通孔与所述第一通孔一一对应。
5.根据权利要求1所述的制作方法,其特征在于,
所述在所述第二功能层上制作第二金属层,并在所述第二金属层上定义出第三类电极条,包括:
在所述第二功能层上制作第二金属层;
采用第二光罩和第二黄光制程对所述第二金属层进行处理,以形成第三类电极条和触摸电极。
6.根据权利要求1所述的制作方法,其特征在于,
所述第一功能层至少包括第一绝缘层以及有源层。
7.根据权利要求1所述的制作方法,其特征在于,
所述第二功能层至少包括第二绝缘层以及氧化物半导体层。
8.一种阵列基板,其特征在于,包括:
基板;
第一功能层,设置于所述基板上方;
第一金属层,设置于所述第一功能层上方,包括第一类电极条和第二类电极条;其中,所述第一类电极条将所述第二类电极条隔断;
第二功能层,设置于所述第一金属层上方,包括多个沿所述第二功能层厚度方向的第一通孔;
第二金属层,设置于所述第二功能层上方,包括第三类电极条;其中,所述第三类电极条通过所述第一通孔将隔断的所述第二类电极条连接,以形成完整的第二类电极条。
9.根据权利要求8所述的阵列基板,其特征在于,
隔断的所述第二类电极条的两端还设置有第二通孔,所述第三类电极条通过所述第二通孔将所述隔断的所述第二类电极条连接;其中,所述第二通孔与所述第一通孔一一对应。
10.一种显示装置,包括显示面板和背光,所述显示面板包括阵列基板、彩膜基板以及所述阵列基板和所述彩膜基板之间的液晶层,其特征在于,所述阵列基板是如权利要求8或9所述的阵列基板,或由如权利要求1至7任一项所述方法制作得到的阵列基板。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的