[发明专利]柔性显示基板激光剥离装置及其激光剥离方法

说明书

技术领域

本发明涉及柔性显示技术领域，尤其是涉及一种用于柔性显示基板激光剥离工程的连续型制造方式的柔性显示基板激光剥离装置及其激光剥离方法。

背景技术

柔性显示器采用柔性材料制成，由于其重量轻、体积小、薄型化，携带方便；耐高低温、耐冲击、抗震能力更强，能适应的工作环境更广；可卷曲，外形更具有艺术设计的美感等优点具有耐冲击、重量轻、携带方便等优点，具有传统显示器不能实现的功能和用户体验的优势，因此柔性显示技术越来越受到人们的重视。

随着柔性显示器制造技术日趋发展成熟，已经可以利用精密涂布制程将耐高温柔性薄膜制作在玻璃基板上，并进行阵列(Array)与有机发光层(OLED)制程，最后于模组工程(Module)再以激光剥离(LLO,Laser Lift Off)与机械分离(Mechanical De-lamination)两道制作工程将柔性显示基板从玻璃基板上剥离取下。

然而，传统的柔性显示基板激光剥离技术在激光剥离过程中，采用单张基板激光剥离工程工艺，生产效率较低，进而提高了设备投资与生产制造成本。

因此，现有柔性显示基板激光剥离方式有待改进和发展。

发明内容

本发明的目的在于，提供一种柔性显示基板激光剥离装置及其激光剥离方法，可以实现连续式且高效率的生产。

为实现上述目的，本发明提供了一种柔性显示基板激光剥离装置，用于对待剥离的柔性显示器件进行剥离，所述待剥离的柔性显示器件包括载体基板及形成于所述载体基板上的柔性显示基板；所述装置包括：连续卷对卷的承载膜、真空吸附工作平台以及激光光束；所述承载膜，用于承载并传送所述待剥离的柔性显示器件至所述真空吸附工作平台的对应位置，且所述柔性显示基板贴合所述承载膜；所述真空吸附工作平台设于所述承载膜下方，用于启动真空吸附所述待剥离的柔性显示器件中的所述柔性显示基板；所述激光光束设于所述承载膜上方且对应所述真空吸附工作平台，用于对所述待剥离的柔性显示器件进行激光剥离，且所述激光光束与所述承载膜之间的距离大于或等于所述待剥离的柔性显示器件的厚度。

为实现上述目的，本发明还提供了一种柔性显示基板激光剥离方法，采用本发明所述的柔性显示基板激光剥离装置；所述方法包括：将待剥离的柔性显示器件转移贴合到卷对卷的承载膜上，且所述待剥离的柔性显示器件中的柔性显示基板贴合所述承载膜；采用所述承载膜承载并传送所述待剥离的柔性显示器件至真空吸附工作平台的对应位置；采用所述真空吸附工作平台启动真空吸附所述柔性显示基板；采用激光光束对所述待剥离的柔性显示器件进行激光剥离。

本发明的优点在于，本发明通过将待剥离的柔性显示器件中柔性显示基板贴合到连续卷对卷的承载膜进行转移，可以实现连续型多张基板生产，生产效率相较于单张基板有效提升。利用承载膜的粘性，将激光剥离后的柔性显示基本与载体基板分离，并将柔性显示基本继续载入下一道的激光切割工程，实现连续式且高效率的生产，进而降低了设备投资与生产制造成本。

附图说明

图1，本发明一实施例所述的柔性显示基板激光剥离装置的示意图；

图2，本发明一实施例所述的柔性显示基板激光剥离制造流程图；

图3，本发明一实施例所述的柔性显示基板激光剥离的细部分离示意图。

图4，本发明一实施例所述的柔性显示基板激光剥离方法的流程图。

具体实施方式

下面结合附图以及实施例，对本发明提供的柔性显示基板激光剥离装置及其激光剥离方法作详细说明。显然，所描述的实施例仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

参考图1-2，其中，图1为本发明一实施例所述的柔性显示基板激光剥离装置的示意图，图2为本发明一实施例所述的柔性显示基板激光剥离制造流程图。

如图1所示，所述装置用于对待剥离的柔性显示器件进行剥离，所述待剥离的柔性显示器件包括载体基板及形成于所述载体基板上的柔性显示基板；所述载体基板可以为玻璃基板。所述装置包括：连续卷对卷(roll-to-roll)的承载膜120、真空吸附工作平台130以及激光光束140。