[发明专利]柔性显示基板激光剥离装置及其激光剥离方法

权利要求书

1.一种柔性显示基板激光剥离装置，用于对待剥离的柔性显示器件进行剥离，所述待剥离的柔性显示器件包括载体基板及形成于所述载体基板上的柔性显示基板，其特征在于，所述装置包括：连续卷对卷的承载膜、真空吸附工作平台以及激光光束；

所述承载膜，用于承载并传送所述待剥离的柔性显示器件至所述真空吸附工作平台的对应位置，且所述柔性显示基板贴合所述承载膜；

所述真空吸附工作平台设于所述承载膜下方，用于启动真空吸附所述柔性显示基板；

所述激光光束设于所述承载膜上方且对应所述真空吸附工作平台，用于对所述待剥离的柔性显示器件进行激光剥离，且所述激光光束与所述承载膜之间的距离大于或等于所述待剥离的柔性显示器件的厚度。

2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述载体基板为玻璃基板。

3.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述激光光束的激光类型包括准分子或固态激光。

4.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置进一步包括：设于所述承载膜上方的真空吸盘；

所述承载膜进一步用于承载并传送激光剥离后的柔性显示器件至所述真空吸盘的对应位置；

所述真空吸盘，用于启动真空吸附所述激光剥离后的柔性显示器件中的所述载体基板，将所述载体基板与所述柔性显示基板分离；

所述承载膜还用于传送分离后的所述柔性显示基板。

5.如权利要求4所述的装置，其特征在于，所述承载膜上沉积有易离型的胶层；

当所述承载膜承载并传送所述激光剥离后的柔性显示器件至所述真空吸盘的对应位置后，利用所述胶层的粘性，通过所述真空吸盘将所述载体基板与所述柔性显示基板分离，通过所述承载膜将分离后的所述柔性显示基板传送至下一工序。

6.一种柔性显示基板激光剥离方法，其特征在于，采用权利要求1所述的柔性显示基板激光剥离装置；所述方法包括：

将待剥离的柔性显示器件转移贴合到卷对卷的承载膜上，且所述待剥离的柔性显示器件中的柔性显示基板贴合所述承载膜；

采用所述承载膜承载并传送所述待剥离的柔性显示器件至真空吸附工作平台的对应位置；

采用所述真空吸附工作平台启动真空吸附所述柔性显示基板；

采用激光光束对所述待剥离的柔性显示器件进行激光剥离。

7.如权利要求6所述的方法，其特征在于，所述载体基板为玻璃基板。

8.如权利要求6所述的方法，其特征在于，所述激光光束的激光类型包括准分子或固态激光。

9.如权利要求6所述的方法，其特征在于，所述装置进一步包括真空吸盘，所述真空吸盘设于所述承载膜上方；所述方法进一步包括：

采用所述承载膜承载并传送激光剥离后的柔性显示器件至所述真空吸盘的对应位置；

采用所述真空吸盘启动真空吸附所述激光剥离后的柔性显示器件中的载体基板，将所述载体基板与所述柔性显示基板分离；

采用所述承载膜传送分离后的所述柔性显示基板。

10.如权利要求9所述的方法，其特征在于，所述承载膜上沉积有易离型的胶层；

当所述承载膜承载并传送所述激光剥离后的柔性显示器件至所述真空吸盘的对应位置后，利用所述胶层的粘性，通过所述真空吸盘将所述载体基板与所述柔性显示基板分离，通过所述承载膜将分离后的所述柔性显示基板传送至下一工序。