[发明专利]硅片检测装置

权利要求书

1.一种硅片检测装置，其特征在于：包括支架（1），所述支架（1）上设置有工作台（2），所述工作台（2）的上表面通过转轴（3）转动设置有平台（4），所述工作台（2）的下表面设置有用于驱动平台（4）转动的电机（5），所述平台（4）的上表面设置有左固定板（6）和右固定板（7），所述左固定板（6）和右固定板（7）的内侧面均设置有气囊（8），所述平台（4）的下表面设置有气泵（9），所述气泵（9）与气囊（8）连通；

所述平台（4）上设置有用于放置硅片（22）的横杆（10），所述横杆（10）的上表面为平面，所述横杆（10）位于左固定板（6）和右固定板（7）之间，所述横杆（10）的两侧分别设置有第一喷管（11）和第二喷管（12），所述左固定板（6）上的气囊（8）通过第一管道（13）与第一喷管（11）连通，所述右固定板（7）上的气囊（8）通过第二管道（14）与第二喷管（12）连通，所述第一管道（13）和第二管道（14）上均串联有限压阀（15）。

2.根据权利要求1所述的硅片检测装置，其特征在于：所述第一喷管（11）和第二喷管（12）的管壁上均开设有若干气孔（21），所述气孔（21）的轴线由下至上向横杆（10）方向倾斜。

3.根据权利要求1所述的硅片检测装置，其特征在于：所述气囊（8）上均连通有电磁球阀（16）。

4.根据权利要求1所述的硅片检测装置，其特征在于：所述气囊（8）的内侧均贴合有橡胶板（17）。

5.根据权利要求1所述的硅片检测装置，其特征在于：所述工作台（2）上设置有立柱（18），所述立柱（18）的顶端固定有顶板（19），所述顶板（19）上固定有照明灯（20）。