[发明专利]用于微机电（MEMS）谐振器的补偿电路

说明书

本发明公开了用于微机电(MEMS)谐振器的补偿电路。电路包括微机电(MEMS)陀螺仪和与MEMS陀螺仪耦合的增益电路。增益电路被配置为接收至少部分地基于MEMS陀螺仪的数字化驱动电压振幅的数字化驱动信号。增益电路还被配置为至少部分地基于MEMS陀螺仪的存储的修整值和数字化驱动信号，确定MEMS陀螺仪的品质因子的百分比变化。增益电路还被配置为至少部分地基于品质因子的百分比变化来补偿MEMS陀螺仪的品质因子的变化的效应。

技术领域

本发明涉及但不限于用于微机电(MEMS)谐振器的补偿电路。

背景

诸如温度或除气/进气的各种条件的波动和变化可导致微机电(MEMS)谐振器(诸如MEMS陀螺仪)的腔中的压力变化。这些压力变化可改变MEMS谐振器的品质因子(也称为“Q因子”)，导致MEMS谐振器的零速率偏移中的变化。甚至品质因子的小百分比变化能够影响零速率偏移。频率失配的MEMS谐振器中的零速率偏移相关于与科里奥利和正交信号之间的相位差的90°的偏差(相位误差)。

概述

电路包括微机电(MEMS)陀螺仪和与MEMS陀螺仪耦合的增益电路。增益电路被配置为接收至少部分地基于MEMS陀螺仪的数字化驱动电压振幅的数字化驱动信号。增益电路还被配置为至少部分地基于MEMS陀螺仪的存储的修整值(trim value)和数字化驱动信号，确定MEMS陀螺仪的品质因子的百分比变化。增益电路还被配置为至少部分地基于品质因子的百分比变化来补偿MEMS陀螺仪的品质因子的变化的效应。

附图说明

包含在实施方式的描述中并构成其一部分的附图图示了主题的各种实施方式，并且与实施方式的描述一起用来解释下面讨论的主题的原理。除非特别说明，否则本附图简述中提及的附图应被理解为不按比例绘制。在本文中，相同项目用相同的项目编号标记。

图1是可以在其上实现本文所描述的实施方式的示例移动电子设备100的框图。

图2图示了根据一些实施方式的使用驱动比进行偏移补偿的示例电路的框图。

图3图示了根据一些实施方式的使用驱动振幅进行偏移补偿的示例电路的框图。

图4图示了根据一些实施方式的使用驱动比进行相位误差补偿的示例电路的框图。

图5图示了根据一些实施方式的使用驱动振幅进行相位误差补偿的示例电路的框图。

图6图示了根据一些实施方式的用于对MEMS陀螺仪进行其中使用驱动比的开环补偿的方法的流程图。

图7图示了用于对MEMS陀螺仪进行其中使用驱动振幅的开环补偿的方法的流程图。

图8图示了根据一些实施方式的用于将偏移幅度添加到MEMS陀螺仪的感测路径的方法的流程图。

图9图示了根据一些实施方式的用于调整解调器的相位的方法的流程图。

具体实施方式

仅通过示例的方式而非限制的方式提供下面的实施方式的描述。此外，没有受前述背景或简要概述或下面的详细描述中提出的任何明示或暗示的理论的束缚的意图。

现在将详细参考主题的各种实施方式，其示例在附图中示出。虽然在本文中讨论了各种实施方式，但将理解的是，它们并不旨在限于这些实施方式。相反，所提出的实施方式旨在涵盖可被包括在由所附权利要求限定的各种实施方式的精神和范围内的替代方案、修改和等效方案。此外，在实施方式的描述中，阐述了许多具体细节以提供对本主题的实施方式的彻底理解。然而，实施方式可以在没有这些具体细节的情况下实践。在其他情况下，没有详细描述公知的方法、过程、部件和电路，以免不必要地模糊所描述的实施方式的方面。

符号和术语