[发明专利]用于微机电（MEMS）谐振器的补偿电路

权利要求书

1.一种电路，包括：

微机电陀螺仪；以及

增益电路，所述增益电路与所述微机电陀螺仪耦合，所述增益电路被配置为接收至少部分地基于所述微机电陀螺仪的数字化驱动电压振幅的数字化驱动信号，所述增益电路被配置为至少部分地基于所述微机电陀螺仪的存储的修整值和所述数字化驱动信号来确定所述微机电陀螺仪的品质因子的百分比变化，并且所述增益电路被配置为至少部分地基于所述品质因子的百分比变化来补偿所述微机电陀螺仪的所述品质因子的变化的效应，

其中，所述存储的修整值是所述微机电陀螺仪的初始数字化驱动电压振幅。

2.如权利要求1所述的电路，其中，所述增益电路还包括比例因子，并且还被配置为基于所述比例因子和所述品质因子的百分比变化来计算偏移幅度。

3.如权利要求2所述的电路，其中，所述比例因子是所述微机电陀螺仪的初始正交的存储值。

4.如权利要求2所述的电路，还包括：

加法器电路，所述加法器电路与所述增益电路和所述微机电陀螺仪的感测路径耦合，并被配置为将所述偏移幅度添加到所述微机电陀螺仪的所述感测路径。

5.如权利要求1所述的电路，还包括：

解调器，所述解调器与所述增益电路和所述微机电陀螺仪的驱动路径耦合，并被配置为基于所述品质因子的百分比变化来调整所述解调器的相位。

6.如权利要求1所述的电路，还包括：

除法器电路，所述除法器电路耦合到所述微机电陀螺仪和所述增益电路，并且被配置为计算所述数字化驱动电压振幅与接收所述微机电陀螺仪的输出的驱动感测放大器的数字化输出的驱动比，其中在所述增益电路处接收的所述数字化驱动信号是所述驱动比。

7.如权利要求6所述的电路，其中，所述存储的修整值是所述微机电陀螺仪的初始驱动比，并且其中所述增益电路被配置为基于所述驱动比和所述初始驱动比来确定所述微机电陀螺仪的所述品质因子的百分比变化。

8.如权利要求7所述的电路，其中，所述增益电路还包括比例因子，并且还被配置为基于所述比例因子和所述品质因子的百分比变化来计算偏移幅度。

9.如权利要求8所述的电路，其中，所述比例因子是所述微机电陀螺仪的初始正交的存储值。

10.如权利要求8所述的电路，还包括：

加法器电路，所述加法器电路与所述增益电路和所述微机电陀螺仪的感测路径耦合，并被配置为将所述偏移幅度添加到所述微机电陀螺仪的所述感测路径。

11.如权利要求6所述的电路，还包括：

解调器，所述解调器与所述增益电路和所述微机电陀螺仪的驱动路径耦合，并被配置为基于所述品质因子的百分比变化来调整所述解调器的相位。

12.如权利要求1所述的电路，还包括：

低通滤波器，所述低通滤波器与所述增益电路的输入端耦合，并被配置为减少所述数字化驱动信号的噪声。

13.一种用于微机电(MEMS)谐振器的补偿电路，所述补偿电路包括：

除法器电路，所述除法器电路被配置为计算MEMS谐振器的驱动信号的数字化输入与接收所述MEMS谐振器的输出的驱动感测放大器的数字化输出的驱动比；以及

增益电路，所述增益电路与所述除法器电路的输出端耦合，并被配置为计算从所述除法器电路接收的所述驱动比与所述MEMS谐振器的存储的驱动比的品质因子比，其中所述品质因子比指示所述MEMS谐振器的品质因子的变化。

14.如权利要求13所述的补偿电路，其中，所述MEMS谐振器是MEMS陀螺仪。