[发明专利]一种ITO刻蚀废液的处理工艺及处理设备

权利要求书

1.一种ITO刻蚀废液的处理工艺，其特征在于，包括以下步骤：

(1)向反应容器内加入液碱，然后进行稀释处理；

(2)向所述反应容器内缓慢加入ITO刻蚀废液，至pH值达到9～10，反应一段时间；

(3)向所述反应容器内缓慢加入ITO刻蚀废液，至pH值达到7～7.5，反应一段时间。

2.如权利要求1所述的ITO刻蚀废液的处理工艺，其特征在于：还包括步骤(4)对反应液进行过滤处理。

3.一种ITO刻蚀废液的处理设备，用于实施权利要求1或2所述的ITO刻蚀废液的处理工艺，其特征在于：包括液碱储罐(1)、反应罐(2)以及第一输送机构；所述液碱储罐(1)与所述第一输送机构的进料口和出料口之间分别连接有第一输料管道(61)和第二输料管道(62)，所述反应罐(2)与所述第一输送机构的进料口和出料口之间分别连接有第三输料管道(63)和第四输料管道(64)。

4.如权利要求3所述的ITO刻蚀废液的处理设备，其特征在于：还包括上清液外排管道(71)，所述上清液外排管道(71)的一端插接在所述反应罐(2)内、另一端与所述第一输送机构的进料口连通。

5.如权利要求3或4所述的ITO刻蚀废液的处理设备，其特征在于：还包括达标水罐(81)，所述达标水罐(81)与所述第一输送机构的出料口之间连接有上清液输送管(72)。

6.如权利要求3或4所述的ITO刻蚀废液的处理设备，其特征在于：还包括沉淀外排管道(73)，所述沉淀外排管道(73)与所述第一输送机构的出料口连通。

7.如权利要求3或4所述的ITO刻蚀废液的处理设备，其特征在于：还包括与第一输送机构的进料口连通的液碱进料管道(74)。

8.如权利要求3或4所述的ITO刻蚀废液的处理设备，其特征在于：所述第一输送机构包括两台相互并联的第一抽液泵(41)。

9.如权利要求3或4所述的ITO刻蚀废液的处理设备，其特征在于：还包括ITO刻蚀废液储罐(3)以及第二输送机构，所述ITO刻蚀废液储罐(3)与所述第二输送机构的进料口之间连接有第五输料管道(65)，所述反应罐(2)与所述第二输送机构的出料口之间连接有第六输料管道(66)。

10.如权利要求9所述的ITO刻蚀废液的处理设备，其特征在于：所述第二输送机构包括两台相互并联的第二抽液泵(51)。