[发明专利]一种固态全薄膜电致变色器件的结构及制备方法

权利要求书

1.一种全固态电致变色器件，其特征在于，所述电致变色器件从上到下依次由金属反射层或透明导电层、电致变色层、介质层、锂合金层、离子储存层、透明导电层组成，

其中，介质层为纳米非晶硅、透明纳米非金属氧化物层、透明纳米金属氧化物层中的一种；

锂合金层为LiMxNy，M和N均为铝或镁或硅，0＜x＜0.8、0＜y＜0.8。

2.如权利要求1所述的全固态电致变色器件，其特征在于，介质层包含纳米非晶硅、纳米硅氧化物、纳米硅氮氧化物、纳米铝氧化物、纳米镁氧化物、纳米铁氧化物、纳米锌氧化物、纳米钛氧化物、纳米钽氧化物或者这些材料的纳米混合化合物、氮化磷酸锂。

3.如权利要求1和2所述的全固态电致变色器件，其特征在于，所述介质层、锂合金层在器件制备后，再通电锂化形成对应的疏松锂化物离子传导层。

4.如权利要求3所述的全固态电致变色器件，其特征在于，所述电致变色层可为过渡金属氧化物。

5.如权利要求4所述的全固态电致变色器件，其特征在于，所述过渡金属氧化物为氧化钨、五氧化二钒、氧化铌、氧化钛、氧化钴、氧化钼中的一种。

6.如权利要求5所述的全固态电致变色器件，其特征在于，所述离子储存层为氧化镍、镍钨氧化物、普鲁士蓝、氧化铱、镍钛氧化物、镍铝氧化物、磷酸铁锂、钛或锌或铜掺杂磷酸铁锂。

7.如权利要求6所述的全固态电致变色器件，其特征在于，所述透明导电层为氧化铟锡、铝掺杂氧化锌、氟掺杂氧化锡。

8.如权利要求7所述的全固态电致变色器件，其特征在于，所述离子传导层厚度为10～500nm；所述锂合金层厚度为10-100nm；所述离子储存层厚度为200～1000nm；所述电致变色层厚度为200～1000nm，所述金属反射层厚度10-1000nm，所透明导电层50-300nm。

9.一种制备如权利要求1-8任一项所述电致变色器件的方法，其特征在于，所述方法步骤如下：

a.取玻璃或柔性高聚物为衬底，并将其洗净后置于炉膛内；

b.使用直流电源磁控溅射在所述衬底的表面沉积金属反射层或透明导电层；

c.取掩膜板置于所述金属反射层或透明导电层上方，以留出接线区；随后通过物理气相沉积法沉积出电致变色层；

d.随后通过物理气相沉积或化学气相沉积设备在所述电致变色层上沉积一层离子传导层；

e.在所述离子传导层上通过物理气相沉积方式镀出锂合金层；

f.在所述离子传导层上通过磁控溅射方式镀出离子储存层；

g.在所述离子储存层上，采用直流电源磁控溅射镀出第二层透明导电层。