[发明专利]喷墨打印成膜方法

说明书

本公开提供一种喷墨打印成膜方法。所述方法包括：喷墨打印步骤：在基板上通过喷墨打印形成墨水的液滴；和旋转干燥步骤：在使基板旋转的同时，干燥基板上的墨水的液滴，从而使墨水的液滴形成膜。所述方法可提高喷墨打印器件性能，提高整个基板的成膜均匀性。

技术领域

本公开涉及喷墨打印成膜方法。

背景技术

在各种成膜技术中，溶液成膜技术越来越受到人们的重视。所谓溶液成膜，即把所需材料经过处理，例如分散成纳米级的微小颗粒，然后溶解在相应的溶剂中，再利用其他设备将该溶液淀积在基板表面，待溶剂蒸发后，即可在基板表面形成所需薄膜。

喷墨打印是溶液成膜技术中较为重要的一种，并因其具有操作简单、成本低廉、工艺简单、及易于实现大尺寸等优点，而被广泛应用于制备发光显示中的彩色滤光片、有机薄膜晶体管、金属电极以及三维隔离墙等，以及用于制备发光器件，都取得了很好的成果。尤其是在有机发光器件(OLED)等自发光器件的加工生产中，喷墨打印因其成本低、效率高等多重优势备受瞩目。

申请人在实践中发现，尽管喷墨打印具有诸多的技术优势，但喷墨打印的成膜在性能上相对传统的蒸镀等有所不足，因此本领域，尤其是在在基板上形成阵列式的打印图案形式的薄膜等具体应用中，依旧存在改进喷墨打印技术的需要。。

另外，在喷墨打印后的真空干燥的过程中，由于真空干燥抽气口的位置固定，致使整块基板的不同位置成膜均匀性不一致。

发明内容

因此，需要提供一种喷墨打印成膜方法，所述方法可以使喷墨打印具有良好的成膜状态，从而提高喷墨打印器件性能。

另外，还需要提供一种喷墨打印成膜方法，所述方法可以提高整个基板的成膜均匀性，不会由于真空干燥抽气口的位置固定，致使整块基板的不同位置成膜均匀性不一致。

因此，在本公开的一个方面，提供一种喷墨打印成膜方法，所述方法包括：

喷墨打印步骤：在基板上通过喷墨打印形成墨水的液滴；和，

旋转干燥步骤：在使基板旋转的同时，干燥基板上的墨水的液滴，从而使墨水的液滴形成膜。

根据本公开的一个实施方案，所述方法还包括：在喷墨打印步骤和旋转干燥步骤之间的预干燥步骤：将墨水的液滴预干燥，以除去液滴中的一部分溶剂。

根据本公开的另一个实施方案，在所述旋转干燥步骤中，使所述基板以50至1000转/分钟或者100至800转/分钟的速度旋转。

根据本公开的另一个实施方案，所述旋转干燥选自真空旋转干燥和加热旋转干燥中的至少一种。

根据本公开的另一个实施方案，所述旋转干燥是真空旋转干燥，并且所述真空旋转干燥的真空度是2至100pa。

根据本公开的另一个实施方案，所述真空旋转干燥进行1至30分钟。

根据本公开的另一个实施方案，所述预干燥选自真空预干燥和加热预干燥中的至少一种。

根据本公开的另一个实施方案，所述预干燥是真空预干燥，并且所述真空预干燥的真空度是1000至20000pa。

根据本公开的另一个实施方案，所述真空预干燥进行1至5分钟。

根据本公开的另一个实施方案，所述预干燥步骤和所述旋转干燥步骤在同一真空干燥腔中进行，其中所述真空干燥腔具有用于放置所述基板的基板放置机台，其中所述基板放置机台具有旋转的功能。

根据本公开的另一个实施方案，所述预干燥步骤是在25至50℃加热1至10分钟的预干燥步骤，并且所述旋转干燥步骤是在25至50℃加热1至15分钟的旋转干燥步骤。