[发明专利]喷墨打印成膜方法

权利要求书

1.一种喷墨打印成膜方法，所述方法包括：

喷墨打印步骤：在基板上通过喷墨打印形成墨水的液滴；和

真空旋转干燥步骤：在使基板旋转的同时，真空干燥基板上的墨水的液滴，从而使墨水的液滴形成膜，

其中在所述真空旋转干燥步骤中，使所述基板以150至800转/分钟的速度旋转。

2.根据权利要求1所述的方法，所述方法还包括：在所述喷墨打印步骤和所述真空旋转干燥步骤之间的预干燥步骤：将墨水的液滴预干燥，以除去液滴中的部分溶剂。

3.根据权利要求1所述的方法，其中所述真空旋转干燥的真空度是2至100pa。

4.根据权利要求1所述的方法，其中所述真空旋转干燥进行1至30分钟。

5.根据权利要求2所述的方法，其中所述预干燥选自真空预干燥和加热预干燥中的至少一种。

6.根据权利要求5所述的方法，其中所述预干燥是真空预干燥，并且所述真空预干燥的真空度是1000至20000pa。

7.根据权利要求5所述的方法，其中所述真空预干燥进行1至5分钟。

8.根据权利要求2所述的方法，其中所述预干燥步骤和所述真空旋转干燥步骤在同一真空干燥腔中进行，其中所述真空干燥腔具有用于放置所述基板的基板放置机台，其中所述基板放置机台具有旋转的功能。

9.根据权利要求2所述的方法，其中所述预干燥步骤是在25至50℃加热1至10分钟的预干燥步骤，并且所述真空旋转干燥步骤是在25至50℃加热1至15分钟的真空旋转干燥步骤。

10.根据权利要求1所述的方法，其中在所述喷墨打印步骤中，形成的墨水的液滴的大小是1至30pl。

11.根据权利要求1所述的方法，其中所述基板是用于发光显示中的彩色滤光片、有机薄膜晶体管、金属电极或三维隔离墙的基板。

12.根据权利要求1所述的方法，其中所述基板是用于发光器件的基板，其中形成的膜包括空穴注入层、空穴传输层和发光层中的一种或多种。