[发明专利]一种金刚石基海水盐度传感器电极材料

权利要求书

1.一种金刚石基海水盐度传感器电极材料，其特征在于，使用金刚石薄膜材料/金刚石复合薄膜材料作为海水盐度传感器的电极材料；所述金刚石薄膜材料包括掺硼多晶金刚石薄膜材料，所述金刚石复合薄膜材料包括金刚石/碳化物复合薄膜材料以及经过金属、有机物或无机物分子表面修饰或改性过的金刚石薄膜材料，所述表面修饰或改性包括在金刚石薄膜电极表面沉积或涂覆修饰材料的分子/团簇、优化金刚石薄膜电极表面微观结构。

2.根据权利要求1所述的一种金刚石基海水盐度传感器电极材料，其特征在于，所述海水盐度传感器的电极包括基底和位于基底上的金刚石薄膜/金刚石复合薄膜层，所述金刚石薄膜/金刚石复合薄膜层上设有电极引线，所述基底是金属、半导体或绝缘体。

3.根据权利要求2所述的一种金刚石基海水盐度传感器电极材料，其特征在于，所述金属、半导体或绝缘体为钛、硅、半导体石英、氧化铝陶瓷。

4.根据权利要求2所述的一种金刚石基海水盐度传感器电极材料，其特征在于，所述金刚石薄膜/金刚石复合薄膜层通过微波等离子体增强化学气相沉积法或热丝化学气相沉积法沉积在基底上。

5.根据权利要求1所述的一种金刚石基海水盐度传感器电极材料，其特征在于，所述海水盐度传感器的性能如下：盐度测量范围为0～60ppt；温度范围为-2～60℃；压力范围为0～6000米；电导率测量精度不低于±0.005mS/cm，稳定工作时间不低于6个月。

6.根据权利要求2所述的一种金刚石基海水盐度传感器电极材料，其特征在于，所述基底为半导体或绝缘体时，金刚石薄膜/金刚石复合薄膜层与电极引线之间还镀有钛蒸镀层和金蒸镀层，所述钛蒸镀层和金蒸镀层是采用电子束蒸发-沉积法或磁控溅射法在金刚石薄膜/金刚石复合薄膜层表面依次沉积制得；所述钛蒸镀层厚度为20～200nm，所述金蒸镀层厚度为20～500nm。

7.根据权利要求1所述的一种金刚石基海水盐度传感器电极材料，其特征在于，所述海水盐度传感器包括壳体、电导率探头、压力探头以及温度探头，所述电导率探头和压力探头安装在壳体上，所述电导率探头内设有电导池，电导池内放置三电极/四电极/七电极，所述电导池前端安装温度探头。

8.根据权利要求7所述的一种金刚石基海水盐度传感器电极材料，其特征在于，所述海水盐度传感器通过电导池内的电极监测海水盐度变化引起的电阻的变化，通过文氏桥振荡电路将电阻的变化转换为振荡频率的变化，通过频率检测电路获取振荡频率，利用振荡频率与电导率之间的关系，计算出电导率，再综合电导率、温度和压力计算出海水的盐度。