[发明专利]用于检测解冻操作完成的设备和方法

权利要求书

1.一种对定位在热增加系统的腔室内的装料执行热增加操作的方法，其特征在于，所述方法包括：

由射频(RF)信号源通过传输路径将RF信号提供到接近于所述腔室的电极；

反复地获得沿着所述传输路径的前向RF功率测量值和反射RF功率测量值，计算所述反射RF功率测量值与所述前向RF功率测量值的多个比率，并将所述多个比率与阈值比率相比较；

当所述反射RF功率测量值与所述前向RF功率测量值的比率大于所述阈值比率时，在所述RF信号源与所述电极之间重新配置一个可变阻抗匹配网络以提高所述RF信号源与所述腔室以及所述装料之间的匹配，并将所述比率降到低于所述阈值比率；

反复地确定可变阻抗匹配网络被重新配置处的频率；

反复地比较所述频率与阈值频率；

当作出所述频率不大于所述阈值频率的确定时，初始化计时器并监控所述RF信号源继续提供所述RF信号的时间量；

继续将所述RF信号提供到所述电极，直到作出所述计时器失效的确定；以及

当作出所述计时器失效的所述确定时，终止所述RF信号到所述电极的提供。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述阈值频率是与具有在高原温度范围内的温度的所述装料一致的频率。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述高原温度范围包括在-16℃和-3℃之间的温度范围。

4.一种热增加系统，其被配置成对定位在所述热增加系统的腔室内的装料执行热增加操作，其特征在于，所述系统包括：

射频(RF)信号源，其被配置成产生RF信号；

传输路径，其在所述RF信号源和定位成接近于所述腔室的电极之间，其中所述传输路径被配置成将所述RF信号从所述RF信号源传达到所述电极；

沿着传输路径的可变阻抗匹配网路；

功率检测电路，其耦合到所述传输路径且被反复地配置成获得沿着所述传输路径的前向RF功率测量值和反射RF功率测量值；以及

系统控制器，其耦合到所述功率检测电路，其中所述系统控制器被配置成

反复计算所述反射RF功率测量值与所述前向RF功率测量值的多个比率，并将所述多个比率与阈值比率相比较，

当所述反射RF功率测量值与所述前向RF功率测量值的比率大于所述阈值比率时，在所述RF信号源与所述电极之间重新配置一个可变阻抗匹配网络以提高所述RF信号源与所述腔室以及所述装料之间的匹配，并将所述比率降到低于所述阈值比率；

反复地确定可变阻抗匹配网络被重新配置处的频率；

反复地比较所述频率与阈值频率；

当作出所述频率不大于所述阈值频率的确定时，初始化计时器并监控所述RF信号源继续提供所述RF信号的时间量；

其中继续将所述RF信号提供到所述电极，并且直到所述系统控制器作出所述计时器失效的确定；以及

所述系统控制器被配置成当所述系统控制器作出所述计时器失效的所述确定时，使所述RF信号源终止所述RF信号到所述电极的提供。

5.根据权利要求4所述的系统，其特征在于：

所述RF信号源被配置成产生所述RF信号作为具有在3.0兆赫兹和300兆赫兹之间的频率的振荡信号。