[发明专利]一种碳基透射电镜样品载网及其制备方法在审
| 申请号： | 201710214979.6 | 申请日： | 2017-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN106990265A | 公开（公告）日： | 2017-07-28 |
| 发明（设计）人： | 高超;许震;郭凡;孙海燕 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G01Q30/20 | 分类号： | G01Q30/20 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司33200 | 代理人： | 邱启旺 |
| 地址： | 310058 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 透射 样品 及其 制备 方法 | ||
1.一种碳基透射电镜样品载网，其特征在于，所述样品载网由碳材料构成，包括骨架载网，所述骨架载网具有镂空孔，还包括铺设在镂空孔上的网孔支持膜，所述网孔支持膜与骨架载网融合为一体；所述骨架载网为碳化膜，网孔支持膜为厚度为1-100纳米的碳膜，或由直径为0.5～50微米的碳纤维构成。
2.一种碳基透射电镜样品载网的制备方法，其特征在于，包含如下步骤：
(1)取耐高温(3000℃)碳基底，在基底上造孔，获得骨架载网。
(2)用网孔支持膜覆盖镂空孔，并通过高温烧结，使之融合于骨架载网。
(3)通过激光刻蚀的方法在网孔支持膜上打孔，获得载网。
3.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，通过以下方法实现网孔支持膜覆盖镂空孔：将浓度为0.001～10mg/mL的氧化石墨烯溶液均匀铺在骨架载网表面，晾干并还原。
4.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，耐高温(3000℃)碳基底包括石墨片、HOPG、金刚石、石墨烯材料和碳纳米管材料等，厚度在100～1000μm。
5.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，所述步骤1中的造孔方法包括机械打孔和激光刻蚀。
6.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，网孔支持膜包括聚合物碳化膜、石墨烯膜或碳纤维织物等。
7.根据权利要求6所述的制备方法，其特征在于，聚合物碳化薄膜选自PI膜碳化膜、丙烯腈膜碳化膜。
8.根据权利要求6所述的制备方法，其特征在于，所述石墨烯膜通过CVD生长得到。
9.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，所述步骤2中高温烧结的温度在200～3200℃。
10.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，所述步骤3中的打孔方法为激光刻蚀，激光刻蚀的波长1064nm，扫描速2～5000mm/s，能量6.0～9.0W。
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