[发明专利]输送装置、光刻装置及物品的制造方法

权利要求书

1.一种将基板输送到载台的输送装置，所述输送装置包括：

保持单元，其被构造为保持所述基板；

检测单元，其被构造为检测所述基板的高度；

第一输送单元，其被构造为将所述基板输送到所述保持单元；

第二输送单元，其被构造为将所述基板从所述保持单元输送到所述载台；以及

控制器，其被构造为，

通过在所述第一输送单元输送所述基板时使所述检测单元检测所述基板的高度分布，来获得第一分布，所述第一分布指示所述基板在所述第一输送单元对所述基板的输送方向上的高度分布，

基于所获得的第一分布确定是否能够通过第二输送单元将基板从保持单元输送到载台，

在确定基板能够被输送到载台的情况下，使所述第二输送单元根据基于所获得的第一分布而确定的输送路径，来将所述基板输送到载台，而

在确定基板不能够被输送到载台的情况下，取消第二输送单元对基板到载台的输送。

2.根据权利要求1所述的输送装置，其中，所述检测单元包括各自被构造为检测所述基板的高度的多个检测器，所述多个检测器被布置为在与输送方向不同的方向上彼此偏移。

3.根据权利要求1所述的输送装置，其中，所述控制器基于所述第一分布确定所述输送路径，以避免所述基板与所述载台接触。

4.根据权利要求1所述的输送装置，其中，在基于所述检测单元的检测结果预测在所述第一输送单元对所述基板的输送期间所述基板与所述保持单元接触的情况下，所述控制器取消所述第一输送单元对所述基板到保持单元的输送。

5.根据权利要求1所述的输送装置，其中，所述控制器确定所述输送路径，以在所述第二输送单元对所述基板的从保持单元到载台的输送期间调整所述基板的高度。

6.一种将基板输送到载台的输送装置，所述输送装置包括：

保持单元，其被构造为保持并旋转所述基板；

检测单元，其被构造为检测所述基板的高度；

第二输送单元，其被构造为将所述基板从所述保持单元输送到所述载台；以及

控制器，其被构造为，

通过在所述保持单元保持并旋转所述基板时使所述检测单元检测所述基板的高度分布，来获得第二分布，所述第二分布指示所述基板在所述基板的圆周方向上的高度分布，

基于所获得的第二分布，确定基板是否能够被第二输送单元从保持单元输送到载台，

在确定基板能够被输送到载台的情况下，使所述第二输送单元根据基于所获得的第二分布而确定的输送路径，来将所述基板输送到载台，而

在确定基板不能够被输送到载台的情况下，取消第二输送单元对基板到载台的输送。

7.根据权利要求6所述的输送装置，其中，所述控制器基于所述第二分布，控制在将所述基板从所述第二输送单元传送到所述载台上时要从所述载台突出的销的突出量。

8.根据权利要求6所述的输送装置，其中，所述检测单元包括各自被构造为检测所述基板的高度的多个检测器，所述多个检测器被布置为，使各个检测器在对所述基板的高度的检测区域与通过所述保持单元进行的旋转的中心之间具有不同的距离。

9.根据权利要求6所述的输送装置，所述控制器基于所述第二分布确定所述输送路径，以避免所述基板与所述载台接触。

10.根据权利要求6所述的输送装置，所述输送装置还包括：第二检测单元，所述第二检测单元被构造为在所述保持单元保持并旋转所述基板时检测所述基板的边缘，

其中，所述控制器基于所述第二检测单元检测到的所述基板的边缘和所述第二分布，来确定所述输送路径。