[发明专利]一种基于质谱仪真空腔内气压变化的控制方法

权利要求书

1.一种基于连续进样接口质谱仪真空腔内气压变化的控制方法，其特征在于该方法包括如下步骤：

1)利用质谱仪抽真空系统，使多级真空腔各部分气压达到所需的气压值；

2)通过连续进样接口将常压离子源产生的样品离子引入真空腔中，完成对待分析样品离子的引入过程；

3)通过各级真空腔安装的气压传感器，将真空腔内气压变化值通过模拟/数字转换电路实时采集到质谱仪的中心控制器中，中心控制器将测得的气压曲线用来修正离子操控信号的时序关系，用于离子操控信号的时序控制及真空腔内气压的控制；

4)质谱仪样品分析过程：质谱仪离子源工作，产生待分析样品离子，预设气压范围为133Pa～0.001Pa；在离子源气吹和离子引入过程中，质谱仪各级真空腔内的气压变化使得某部分区域的气压不在预设气压范围时，中心控制器判断当前气压值是否适合离子操控的预设气压条件，通过控制分子泵抽气速率、开关前级泵、可控气路来调节气压，完成离子操控信号的时序控制，控制各级真空腔内气压在预设气压范围内，进而对离子进行质谱分析操作；

5)在多级真空腔中完成对离子的操控及质谱分析操作，得到待测样品的质谱图。

2.如权利要求1所述的一种基于连续进样接口质谱仪真空腔内气压变化的控制方法，其特征在于：所述的离子操控包括离子冷却、离子传输、离子激发及空间离子反应的操控。

3.一种基于非连续进样接口质谱仪真空腔内气压变化的控制方法，其特征在于该方法包括如下步骤：

1)利用质谱仪抽真空系统，使真空腔内气压达到或低于0.001Pa值；

2)通过非连续进样接口将常压离子源产生的样品离子引入真空腔中，完成对待分析样品离子的引入过程；

3)质谱仪中心控制器控制非连续进样夹管阀打开时间在1ms-200ms之间，采用气压传感器将真空腔内气压变化值通过模拟/数字转换电路实时采集到质谱仪的中心控制器中；中心控制器将测得的气压曲线用来修正离子操控信号的时序关系；

4)预设气压范围为133Pa～0.001Pa，待分析样品离子与空气分子进入真空腔，真空腔内气压升高，关闭非连续进样夹管阀，真空腔内气压下降，如果此时真空腔内气压处于预设气压范围内，中心控制器根据当前气压曲线，进行后续离子操控及质谱分析操作；

5)离子操控过程:当中心控制器确认当前气压值在预设气压范围内，开启离子操控信号，进行时序控制；当质谱仪中心控制器采集的气压值不在预设气压范围内时，中心控制器判断当前气压无法满足后续离子操控、质谱分析要求时，中心控制器通过控制分子泵抽气速率、开关前级泵、可控气路来调节气压，保证真空腔内气压在预设气压范围内；

6)质谱分析操作：离子操控完成后，对离子进行质谱分析操作，得到待测样品的质谱图。

4.根据权利要求3所述的一种基于非连续进样接口质谱仪真空腔内气压变化的控制方法，其特征在于，所述的离子操控包括离子冷却、离子传输、离子激发及空间离子反应的操控。