[发明专利]一种用于晶圆加工的设备

权利要求书

1.一种用于晶圆加工的设备，其特征在于，包括：

第一槽、声波发生器、声波换能器、转动螺杆、夹持装置以及支撑装置；

所述转动螺杆的一端与所述支撑装置相连接，另一端与所述夹持装置连接，所述夹持装置用于夹持并吸附加工元件；

所述第一槽的第一侧壁、底部、顶部中的至少一个设有至少一个所述支撑装置；

所述第一槽的底部设有所述声波换能器，所述声波换能器和所述声波发生器连接；

所述转动螺杆包括第一螺杆和第二螺杆，所述第一螺杆和所述第二螺杆分别与所述支撑装置连接；

所述夹持装置包括第一夹持片和第二夹持片，所述第一夹持片与所述第一螺杆连接，所述第二夹持片与所述第二螺杆连接；

所述第一夹持片和所述第二夹持片分别设有吸盘。

2.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述第一槽的所述第一侧壁设有出液口。

3.根据权利要求2所述的设备，其特征在于，所述第一槽的所述第一侧壁还设有进液口。

4.根据权利要求3所述的设备，其特征在于，所述设备还包括供应泵和流通管道；

所述出液口和所述进液口分别与所述流通管道连接；

所述供应泵与所述流通管道连接。

5.根据权利要求4所述的设备，其特征在于，所述设备还包括加热装置，所述加热装置与所述流通管道连接。

6.根据权利要求4或5所述的设备，其特征在于，所述设备还包括过滤装置，所述过滤装置与所述流通管道连接。

7.根据权利要求6所述的设备，其特征在于，所述设备还包括清洗剂供应装置，所述清洗剂供应装置与所述流通管道连接。

8.根据权利要求7所述的设备，其特征在于，所述设备还包括第二槽，所述第一槽的预设部分套设于所述第二槽的内部，所述第二槽的外沿高于所述第一槽的外沿。

9.根据权利要求8所述的设备，其特征在于，所述第二槽的第二侧壁设有排液口，所述排液口与所述第一槽的所述出液口一端的所述流通管道连接。

10.根据权利要求9所述的设备，其特征在于，所述第二槽中设有所述排液口一侧的底部低于相对侧的底部。