[发明专利]基板处理系统、基板翻转装置和方法

说明书

本申请公开了一种基板翻转装置及翻转方法，此外，本申请还公开了一种基板处理系统。在该基板处理系统内设置有翻转室，该翻转室内设置有基板翻转装置。当基板的一个表面处理完成后，该基板由传送室内的基板传送装置传送至翻转室，利用翻转室内的基板翻转装置可以在真空环境下实现基板的翻转，翻转后，再由传送室内的基板传送装置传送至工艺反应室，对基板的另一表面进行处理，完成基板正、背两面上的处理。如此，通过本申请提供的基板处理系统无需将基板传送至系统外进行翻转，通过其包括的翻转室以及翻转室内的基板翻转装置就能够使得基板在基板处理系统内完成翻转，因此，通过本申请提供的基板处理系统能够提高基板加工效率，减少基板污染几率。

技术领域

本申请涉及基板加工技术领域，尤其涉及一种基板翻转装置和翻转方法，以及包含该基板翻转装置的基板处理系统。

背景技术

对于正、背面均需要处理的基板例如光伏太阳能电池基板来说，在处理完基板的一面后，需要将基板翻转过来，然后再对另一面进行处理。现有的基板翻转需要借助基板处理系统外的基板翻转装置完成，如此，基板在完成一面处理后，需要冷却、传送到基板处理系统外的基板翻转装置内进行翻转，然后再将其放到一个新的基板承载台上，另外，在进入另一基板工艺反应室进行另一面的处理之前需要对基板进行重新预热。如此过程导致基板加工效率较低，而且加大了基板污染的几率。

发明内容

为了使得基板在基板处理系统内完成翻转，本申请提供了一种基板翻转装置和方法。

基于本申请提供的基板翻转装置，本申请还提供了一种包含该基板翻转装置的基板处理系统。

为了解决上述技术问题，本发明采用了如下技术方案：

一种基板翻转装置，所述基板包括多列呈列排布的晶片，每列晶片包括多片晶片，所述基板翻转装置包括：用于承载晶片的、能够上下移动的多个提升销以及用于夹持晶片边缘的边缘夹持器，所述多个提升销与待承载的基板上的多个晶片相对应，且所述提升销的表面小于晶片表面，每个所述提升销的上下移动能够带动放置在其上的晶片上下移动；

所述边缘夹持器包括多个相互平行的夹持部件，每个所述夹持部件包括多根上下相对设置的夹持棒，所述多根上下相对设置的夹持棒用于夹持一列晶片的上下表面的边缘区域；

所述多根上下相对设置的夹持棒在竖直方向上能够运动，或者，所述多根上下相对设置的夹持棒在竖直方向和水平方向上均能够运动。

可选地，所述多个提升销成列排布，所述基板翻转装置还包括提升销运动控制部件，所述提升销运动控制部件用于控制所有所述提升销、一列提升销或者互不相邻列上的多列提升销同时上下移动。

可选地，所述基板翻转装置还包括用于承载基板的基座，所述基座能够对放置在其上的基板进行加热。

可选地，所述基板翻转装置还包括基板传送叉定位部件，所述基板传送叉定位部件用于对各个分叉的自由端进行定位，以使传送的基板上的各个晶片和各自对应的提升销均上下对准。

可选地，每个所述夹持部件用于夹持一列的晶片，相邻两个所述夹持部件之间的间距d为n个晶片在行方向上的宽度，其中，n为正整数。

一种基板处理系统，所述基板包括多列呈列排布的晶片，每列晶片包括多片晶片，所述基板处理系统包括：用于装载基板的装载室、用于传送基板的传送室、用于基板处理的工艺反应室、用于基板翻转的翻转室以及用于拆卸基板的拆卸室，所述传送室分别与所述装卸室、所述工艺反应室、所述翻转室以及所述拆卸室之间连通且均设置有隔离阀；

所述翻转室内设置有如上述任一实施例所述的基板翻转装置。

可选地，所述传送室内设置有基板传送装置，所述基板传送装置包括：