[发明专利]制作扫描隧道显微镜探针设备的探针棒减振装置及方法

说明书

技术领域

本发明属于扫描显微镜探针制备技术，尤其涉及一种制作扫描隧道显微镜探针设备的探针棒减振装置及方法。

背景技术

制作扫描隧道显微镜探针的普通装置(见图1)包括支架、下调节架、下调节托盘；上调节架、导电板、探针夹、电池、导线、导电环和烧杯；下调节架和上调节架均与支架连接，导电板与上调节架联接，探针夹与导电板联接；导电环在烧杯中，不锈钢的导电环的中心有孔，导电环固定在下调节托盘上，下调节托盘与下调节架联接；电池的正、负极通过导线分别导电板和导电环连接。

用制作扫描隧道显微镜探针的普通装置制作扫描隧道显微镜的探针时，探针棒的上端通过探针夹固定在导电板上，烧杯中有NaOH的水溶液的电解液，探针棒的下端伸入NaOH的水溶液中并穿过导电环上的孔，探针棒为0.1〜1.5mm直径的钨丝，导电环在NaOH的水溶液中且在NaOH的水溶液的液面附近；探针棒经电解后，导电环孔中的钨丝变尖，探针棒变为探针。

用制作扫描隧道显微镜探针的普通装置制作扫描隧道显微镜的探针中，要产生氢气，氢气从探针棒附近的NaOH的水溶液的液面向上升入空中时，探针棒附近的液面产生波动，使探针棒产生垂直于探针轴线的横向振动，影响探针的针尖在探针轴线上，影响探针的针尖制作质量。

发明内容：

本发明要解决的技术问题是：提供一种制作扫描隧道显微镜探针设备的探针棒减振装置及方法，以解决现有技术用制作扫描隧道显微镜探针的普通装置制作扫描隧道显微镜的探针中，要产生氢气，氢气从探针棒附近的NaOH的水溶液的液面向上升入空中时，探针棒附近的液面产生波动，使探针棒产生垂直于探针轴线的横向振动，影响探针的针尖在探针轴线上，影响探针的针尖制作质量等技术问题。

本发明技术方案：

一种制作扫描隧道显微镜探针设备的探针棒减振装置，它包括中间调节托盘、减振筒和硅胶，下调节支架连接中间调节托盘，中间调节托盘上固定有减振筒,探针棒穿过减振筒且探针棒与减振筒不接触，探针棒的两端分别伸出减振筒，探针棒与减振筒之间填充有硅胶。

所述减振筒的上空心圆柱的高度和直径大于下空心圆柱的高度和直径。

探针棒和减振筒之间有0.1〜0.5毫米的缝隙。

探针棒的两端分别伸出减振筒的长度为1〜5毫米。

制作扫描隧道显微镜探针设备的探针棒减振装置的减振方法，它包括：将探针棒7在具有探针棒减振装置的制作扫描隧道显微镜探针的装置中制作成探针14后，探针棒7变为探针14，探针14在减振筒16中，再从探针夹6和减振筒16中取出探针14，再清洗探针14上的硅胶17，得到清洁的探针14。

本发明的有益效果：

本发明在制作扫描隧道显微镜探针的普通装置的基础上，增加探针棒减振装置，形成具有探针棒减振装置的制作扫描隧道显微镜探针的装置；探针棒的两端之间的部分在硅胶中，硅胶吸收探针棒的横向振动和沿探针轴线的纵向振动，使探针棒的振动减小或消除。

本发明的探针棒减振装置中，探针棒减振装置不仅限于对钨丝的探针棒的减振，也可用于铂铱合金丝的探针棒的减振。

本发明的优点：

1．氢气从探针棒附近的NaOH的水溶液的液面向上升入空中时，液面产生波动，影响探针的针尖制作质量，使用探针棒减振装置后，硅胶吸收探针棒的横向振动和沿探针轴线的纵向振动，使探针棒的振动减小或消除，有利于电解所得探针的针尖在探针轴线上，提高探针的针尖制作质量。

2．探针棒的两端之间的部分在硅胶中，探针棒的减振不妨碍探针的制作。

3．硅胶是粘性流体，粘度可以调节，可通过调节粘度，满足探针棒的减振需要。

本发明解决了现有技术用制作扫描隧道显微镜探针的普通装置制作扫描隧道显微镜的探针中，要产生氢气，氢气从探针棒附近的NaOH的水溶液的液面向上升入空中时，探针棒附近的液面产生波动，使探针棒产生垂直于探针轴线的横向振动，影响探针的针尖在探针轴线上，影响探针的针尖制作质量等技术问题。

附图说明

图1为制作扫描隧道显微镜探针的普通装置及制作探针的示意图；

图2为图1的A-A剖面放大图；

图3为探针棒；

图4为探针；

图5为具有探针棒减振装置的制作扫描隧道显微镜探针的装置及探针棒在减振筒中的示意图；

图6为图5的B-B剖面放大图；

图7为探针在减振筒中的示意图；

图8为减振筒结构示意图；

图9为图8的俯视图。