[发明专利]制作扫描隧道显微镜探针设备的探针棒减振装置及方法在审
| 申请号： | 201710187813.X | 申请日： | 2017-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN106841689A | 公开（公告）日： | 2017-06-13 |
| 发明（设计）人： | 丁召;许筱晓 | 申请（专利权）人： | 贵州大学 |
| 主分类号： | G01Q70/16 | 分类号： | G01Q70/16;F16F15/02;F16F15/08 |
| 代理公司： | 贵阳中新专利商标事务所52100 | 代理人： | 吴无惧 |
| 地址： | 550025 贵州*** | 国省代码： | 贵州;52 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 制作 扫描 隧道 显微镜 探针 设备 棒减振 装置 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种制作扫描隧道显微镜探针设备的探针棒减振装置，它包括中间调节托盘（15）、减振筒（16）和硅胶（17），其特征在于：下调节支架（2）连接中间调节托盘（15），中间调节托盘（15）上固定有减振筒（16）,探针棒（7）穿过减振筒（16）且探针棒（7）与减振筒（16）不接触，探针棒（7）的两端分别伸出减振筒（16），探针棒（7）与减振筒（16）之间填充有硅胶（17）。
2.根据权利要求1所述的一种制作扫描隧道显微镜探针设备的探针棒减振装置，其特征在于：所述减振筒（16）的上空心圆柱（18）的高度和直径大于下空心圆柱（19）的高度和直径。
3.根据权利要求1所述的一种制作扫描隧道显微镜探针设备的探针棒减振装置，其特征在于：探针棒（7）和减振筒（16）之间有0.1〜0.5毫米的缝隙。
4.根据权利要求1所述的一种制作扫描隧道显微镜探针设备的探针棒减振装置，其特征在于：探针棒（7）的两端分别伸出减振筒（16）的长度为1〜5毫米。
5.如权利要求1-4所述的制作扫描隧道显微镜探针设备的探针棒减振装置的减振方法，其特征在于：它包括：将探针棒7在具有探针棒减振装置的制作扫描隧道显微镜探针的装置中制作成探针14后，探针棒7变为探针14，探针14在减振筒16中，再从探针夹6和减振筒16中取出探针14，再清洗探针14上的硅胶17，得到清洁的探针14。
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