[发明专利]用于处理柔性基板的方法有效
申请号: | 201710181727.8 | 申请日: | 2011-07-05 |
公开(公告)号: | CN106893134B | 公开(公告)日: | 2020-05-29 |
发明(设计)人: | G·霍夫曼;G·凯勒曼;H-G·洛茨;A·沃尔夫 | 申请(专利权)人: | 应用材料公司 |
主分类号: | C08J7/12 | 分类号: | C08J7/12;C23C14/02;C23C16/02 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 侯颖媖 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 处理 柔性 方法 | ||
一种处理柔性基板的方法包括以下步骤:提供具有聚合表面的柔性基板;发射电子束;将所述聚合表面暴露于所述电子束;经由将所述聚合表面暴露于所述电子束而修改所述聚合表面;以及将阻挡层沉积在经修改的表面上。
本申请是申请日为2011年7月5日、申请号为201180072080.6,题为“用于处理柔性基板的方法”的申请的分案申请。
技术领域
本公开的实施例涉及用于处理柔性基板的方法。具体地,各实施例涉及用于在涂敷之前预处理柔性基板,从而提高涂敷基板的阻挡性能的方法。
背景技术
在包装产业、半导体产业和其他产业中对柔性基板(诸如,塑料薄膜或箔片)的处理有很高的需要。处理步骤常常包含用所需的材料涂敷柔性基板。
执行这个任务的系统通常包括处理滚筒(例如,圆柱辊),所述处理滚筒耦合到用于输送基板的处理系统,并且在所述处理滚筒上至少一部分基板被处理。例如,当基板正在被输送时,可以在所述处理滚筒上涂敷柔性基板的一部分。
可以用金属或含硅层涂敷用于食物包装的塑料薄膜,以保护所述包装内的食物,以免氧气和水蒸汽渗透入塑料材料,否则所述氧气和水蒸汽可能会导致已包装食物的腐败。因此,所述已涂敷的塑料基板的阻挡性能取决于各种因素,例如所述塑料材料本身、涂层的厚度和属性,以及在涂覆工艺期间的各种工艺参数。虽然一些参数可以提高对水蒸汽或氧气的阻挡性能,但是这些参数可能对关于整个基板品质的其他方面有不利影响。
因此,需要一种大略地提高塑料基板上的涂层的阻挡性能的方法。
发明内容
在一个方面,提供了一种处理柔性基板的方法。所述方法包括以下步骤:提供具有聚合表面的柔性基板;发射电子束;将所述聚合表面暴露于所述电子束;经由将所述聚合表面暴露于电子束而改变所述聚合表面;以及将阻挡层沉积在经改变的表面上。
附图说明
因此,可获得并详细地理解本发明的上述特征的方式,即上文简要概述的本发明的更具体描述可参照实施例进行,这些实施例图示在附图中。
图1是根据各实施例用于处理柔性基板的示例性系统的示意图。
图2是图1所示的实施例的处理滚筒的示意性透视图。
图3是根据其他实施例用于处理柔性基板的系统的示意图。
图4是图示根据各实施例用于处理柔性基板的示例性方法的流程图。
具体实施方式
现将详细提及各种实施例,这些实施例的一个或多个实例图示于诸图中。每一实例作为说明提供,以及并不意欲作为限制。例如,图示或者描述为一个实施例的部分的特征可用于更进一步的实施例,或者与其他实施例结合以用于产生更进一步的实施例。本公开意欲包括这样的修改和变更。
本文公开的实施例涉及一种用于在用硅、氧化硅、金属、金属氧化物或金属氮化物层(举例来说,铝、氧化铝或氮化铝)涂敷薄膜之前,用电子束处理塑料基板的方法。本发明人已经发现,与具有相同的涂层但在涂敷之前没有经电子处理的相同薄膜相比,用电子预处理出乎意料地提高了涂敷后薄膜的阻挡性能。因此,用电子处理的薄膜侧面通常是(但并不限于)从后续的处理辊引导离开的侧面,随后用涂层覆盖所述侧面。
假设所觉察的效果是电子处理的各种局部效果的组合。经由将电子束引导到聚合物基板上,所述基板的表面粗糙度会减少。此外,经由碰撞电子(例如,激发电子)改变薄膜表面的电子结构,以使得所述塑料薄膜表面和随后施加的涂层之间的粘着性改变,结果使阻止水蒸汽和氧气的阻挡性能提高。此外,所述聚合物膜表面中的键合被分裂,以使得在后续涂层和薄膜之间的键合的属性被改变、相应地提高。
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