[发明专利]基体材料处理装置和基体材料处理方法

权利要求书

1.一种基体材料处理装置，其中，

具有：

搬运部，将主面供给有涂敷液的基体材料，沿着搬运路径搬运，以及，

干燥部，通过对被上述搬运部搬运的上述基体材料实施包括加热处理的处理，对供给至上述主面的上述涂敷液进行干燥；

上述搬运部具有：

第一搬运构件，沿着上述搬运路径设置于上述干燥部的上游侧，且用于搬运上述基体材料，以及，

第二搬运构件，沿着上述搬运路径设置于上述干燥部的下游侧，且用于隔着气体层搬运上述基体材料，

上述搬运部对位于上述干燥部中的上述基体材料的搬运方向与上述搬运部对位于上述干燥部的下游侧的上述基体材料的搬运方向不同，

上述第二搬运构件一边具有相对于上述基体材料的夹角一边搬运上述基体材料。

2.根据权利要求1所述的基体材料处理装置，其中，

上述搬运部还具有第三搬运构件，该第三搬运构件沿着上述搬运路径设置于上述干燥部的下游侧，且上述第三搬运构件与上述基体材料之间的接触面积大于上述第二搬运构件与上述基体材料之间的接触面积，

上述第三搬运构件沿着上述搬运路径位于上述第二搬运构件的下游侧。

3.根据权利要求1所述的基体材料处理装置，其中，

上述第二搬运构件包括能够以轴为中心旋转的辊，该轴与上述主面平行，且沿着与上述基体材料的搬运方向交叉的交叉方向延伸，

还包括驱动部，该驱动部以使上述辊的周速大于被上述搬运部搬运的上述基体材料的搬运速度的方式，使上述辊旋转。

4.根据权利要求1所述的基体材料处理装置，其中，

上述搬运部包括多个辊，该多个辊能够在上述干燥部的下游侧，分别以与上述主面平行且沿着与上述基体材料的搬运方向交叉的交叉方向延伸的轴为中心进行旋转来搬运上述基体材料，且在上述搬运路径的一区间内排列设置，

上述一区间的前后的上述搬运路径的延伸方向的角度差为，将上述多个辊相对于上述基体材料的夹角相加而得到的合计值。

5.根据权利要求1所述的基体材料处理装置，其中，

上述第二搬运构件包括供气辊，上述供气辊能够以轴为中心进行旋转，该轴与上述主面平行，且沿着与上述基体材料的搬运方向交叉的交叉方向延伸，该供气辊具有设置有供气口的外周部和与该供气口连接的供气路径，

还具有气体供给部，该气体供给部用于向上述供气路径供给气体。

6.根据权利要求5所述的基体材料处理装置，其中，

上述气体的温度比上述基体材料中的被上述供气辊搬运的部分的温度低。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的基体材料处理装置，其中，

上述干燥部在对被上述搬运部搬运的上述基体材料实施上述加热处理之后实施冷却处理，从而对供给至上述主面的涂敷液进行干燥，该冷却处理是对通过上述加热处理加热的上述基体材料进行冷却的处理。

8.一种基体材料处理方法，其中，

包括：

干燥工序，通过对主面供给有涂敷液的基体材料实施包括加热处理的处理，对供给至上述主面的上述涂敷液进行干燥；以及，

搬运工序，利用搬运构件隔着气体层搬运实施了上述干燥工序的处理的上述基体材料，

在上述干燥工序中的上述基体材料的搬运方向与在上述干燥工序之后的工序中的上述基体材料的搬运方向不同，

上述搬运构件一边具有相对于上述基体材料的夹角一边搬运上述基体材料。