[发明专利]显影液循环管理方法有效

专利信息
申请号: 201710177604.7 申请日: 2017-03-20
公开(公告)号: CN106802501B 公开(公告)日: 2020-07-21
发明(设计)人: 何家鸣;欧阳昊;朱景河;黄伟东;李建华 申请(专利权)人: 信利(惠州)智能显示有限公司
主分类号: G02F1/13 分类号: G02F1/13;G03F7/30;C03C15/00
代理公司: 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 代理人: 邓云鹏
地址: 516029 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 显影液 循环 管理 方法
【说明书】:

一种显影液循环管理方法,包括如下步骤:工作步骤:根据预设更换频率交替使两个显影液储存槽中的其中一个显影液储存槽与显影液喷头连通,未与显影液喷头连通的另一个显影液储存槽进行显影液废液排空操作,并进行显影液新液补充操作,将最后一个进行新液补充操作后的显影液储存槽定义为待机显影液储存槽,则另一个显影液储存槽定义为空闲显影液储存槽;待机步骤:使显影液喷头与待机显影液储存槽连通;过渡步骤:向空闲显影液储存槽进行显影液新液补充操作,对待机显影液储存槽进行显影液废液排空操作,并进行显影液新液补充操作。上述显影液循环管理方法能够减轻显影液喷头和显影液管道堵塞问题,以及能够节省显影液用量。

技术领域

发明涉及显影液管理技术领域,特别是涉及一种显影液循环管理方法。

背景技术

随着智能手机、平板电脑等产品的不断发展,薄膜晶体管(Thin FilmTransistor,TFT)的液晶显示器得到越来越广泛的应用,并促使各大厂商积极地进行产品的研发与制造。液晶显示器主要包括玻璃基板、液晶、驱动电路单元、背光灯模组和其他附件等几部分。

其中,当将其他部件安装至玻璃基板之前,需要对玻璃基板进行刻蚀处理,以得到刻蚀区域,便于安装其他部件。在对玻璃基本刻蚀操作前,需要对玻璃基板上设置保护层,之后对保护层进行显影操作,显影操作中需要使用显影液,即将玻璃基板放入至容置有显影液的显影设备中,待玻璃基板从显影设备的进板端运动至显影设备的出版端时,则玻璃基板完成显影操作。

众所周知,显影设备不可能达到100%的稼动率,其中,稼动率是指一台机器设备实际的生产数量与可能的生产数量的比值,因此,基于种种因素,显影设备总存在非生产状态,亦即在非生产状态下,未对玻璃基板进行显影操作。

然而,在非生产状态下,即显影设备处于停机状态时,则位于显影设备的显影液喷头附近的显影液会发生蒸发,残留的物质会形成结晶物质,这些结晶物质会导致显影液喷头发生堵塞问题,并且,显影操作所使用的碱性显影液长时间静置则会在与显影液喷头连通的显影液输送管道内产生水垢,不利于清洁,堵塞问题严重时,甚至影响正常的显影液输送功能。

进一步地,显影设备处于生产状态时,为保证显影后的玻璃基板的品质稳定性,会采用比较高的显影液更换频率,若在非生产状态时采用与生产状态同样的更换频率,则又会导致显影液浪费。

发明内容

基于此,有必要提供一种能够减轻显影液喷头和显影液管道堵塞问题,以及能够节省显影液用量的显影液循环管理方法。

一种显影液循环管理方法,应用于显影设备中,所述显影设备包括显影腔室、显影液喷头、两个显影液储存槽,所述显影液喷头安装于所述显影腔室内,包括如下步骤:

工作步骤:根据预设更换频率交替更换两个所述显影液储存槽,使两个所述显影液储存槽中的其中一个所述显影液储存槽与所述显影液喷头连通,未与所述显影液喷头连通的另一个所述显影液储存槽进行显影液废液排空操作,并进行显影液新液补充操作,将最后一个进行新液补充操作后的所述显影液储存槽定义为待机显影液储存槽,则另一个所述显影液储存槽定义为空闲显影液储存槽;

待机步骤:使所述显影液喷头与所述待机显影液储存槽连通;

过渡步骤:向所述空闲显影液储存槽进行显影液新液补充操作,对所述待机显影液储存槽进行显影液废液排空操作,并进行显影液新液补充操作。

在其中一个实施例中,顺序循环执行所述工作步骤、所述待机步骤和所述过渡步骤。

在其中一个实施例中,所述预设更换频率根据在预设时间内,所述显影液储存槽中的显影液的液位变化值和pH变化值得到。

在其中一个实施例中,所述显影液的液位变化值采用如下步骤得到:

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