[发明专利]显影液循环管理方法

权利要求书

1.一种显影液循环管理方法，应用于显影设备中，所述显影设备包括显影腔室、显影液喷头、两个显影液储存槽，所述显影液喷头安装于所述显影腔室内，其特征在于，包括如下步骤：

工作步骤：根据预设更换频率交替更换两个所述显影液储存槽，使两个所述显影液储存槽中的其中一个所述显影液储存槽与所述显影液喷头连通，未与所述显影液喷头连通的另一个所述显影液储存槽进行显影液废液排空操作，并进行显影液新液补充操作，将最后一个进行新液补充操作后的所述显影液储存槽定义为待机显影液储存槽，则另一个所述显影液储存槽定义为空闲显影液储存槽；

待机步骤：所述显影设备在非生产状态下，使所述显影液喷头与所述待机显影液储存槽连通，使所述待机显影液储存槽内的显影液在循环操作中；

过渡步骤：向所述空闲显影液储存槽进行显影液新液补充操作，对所述待机显影液储存槽进行显影液废液排空操作，并进行显影液新液补充操作。

2.根据权利要求1所述的显影液循环管理方法，其特征在于，所述对所述待机显影液储存槽进行显影液废液排空操作，并进行显影液新液补充操作的步骤包括：

关闭玻璃基板进入信号，暂停玻璃基板流入，关闭旧液供液，同时显影液储存槽进入清洁程序，并持续预设管道排空时间；打开新显影液的供液，冲洗供液管道；关闭所述显影腔室向换液的显影液储存槽的排液阀门，打开腔室向新显影液储存槽的排液阀门；重新打开玻璃基板接收信号，流入玻璃基板。

3.根据权利要求1所述的显影液循环管理方法，其特征在于，所述预设更换频率根据在预设时间内，所述显影液储存槽中的显影液的液位变化值和pH变化值得到。

4.根据权利要求3所述的显影液循环管理方法，其特征在于，所述显影液的液位变化值采用如下步骤得到：

采用液位传感器测量得到所述显影液储存槽的显影液的初始液位值，待所述预设时间后，再采用所述液位传感器测量得到所述显影液储存槽的显影液的当前液位值，所述显影液储存槽中的显影液的液位变化值等于所述显影液储存槽的显影液的初始液位值与所述显影液储存槽的显影液的当前液位值之差。

5.根据权利要求3所述的显影液循环管理方法，其特征在于，所述显影液的pH变化值采用如下步骤得到：

采用pH测量仪测量得到所述显影液储存槽的显影液的初始pH值，待所述预设时间后，再采用所述pH测量仪测量得到所述显影液储存槽的显影液的当前pH值，所述显影液储存槽中的显影液的pH变化值等于所述显影液储存槽的显影液的初始pH值与所述显影液储存槽的显影液的当前pH值之差。

6.根据权利要求1所述的显影液循环管理方法，其特征在于，对所述待机显影液储存槽进行显影液废液排空操作，并进行显影液新液补充操作具体包括如下步骤：

所述显影腔室接收并响应暂停信号，用于控制玻璃基板停止进入至所述显影腔室内；

使所述待机显影液储存槽与所述显影液喷头断开；

对所述待机显影液储存槽进行废液排空操作；

向所述待机显影液储存槽进行显影液新液补充操作；

将所述待机显影液储存槽重新与所述显影液喷头连通；

所述显影腔室接收并响应工作信号，用于控制玻璃基板重新进入至所述显影腔室内。

7.根据权利要求6所述的显影液循环管理方法，其特征在于，在排空时间内对所述显影液储存槽执行废液排空操作，所述排空时间根据所述待机显影液储存槽的总容量和所述待机显影液储存槽的废液排出流量得到。

8.根据权利要求1所述的显影液循环管理方法，其特征在于，所述待机步骤的持续时间根据如下函数得到，

t＝a*T，

其中，t为待机步骤的持续时间，a为所述显影设备的稼动率，T为所述显影设备的负荷时间。

9.根据权利要求1所述的显影液循环管理方法，其特征在于，所述显影设备还包括显影液新液供给系统，采用所述显影液新液供给系统给显影液储存槽进行显影液新液补充操作。

10.根据权利要求1所述的显影液循环管理方法，其特征在于，所述显影液储存槽与所述显影液喷头之间的连通管道通过阀门以实现连通或断开操作。